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PECVD a-SiNx∶H薄膜中的氢分布 被引量:1
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作者 何奕骅 翁丽敏 +2 位作者 许春芳 杨光 邬学文 《波谱学杂志》 CAS CSCD 北大核心 1998年第4期295-302,共8页
用红外光谱、质子核磁共振谱对以SiH4/NH3/N2混合气体为源、用等离子体增强化学气相淀积法淀积的非晶氢化氮化硅(aSiNx∶H)薄膜进行了分析,结果表明膜中H以SiH和NH形式存在,均呈集聚和疏散两种分布状... 用红外光谱、质子核磁共振谱对以SiH4/NH3/N2混合气体为源、用等离子体增强化学气相淀积法淀积的非晶氢化氮化硅(aSiNx∶H)薄膜进行了分析,结果表明膜中H以SiH和NH形式存在,均呈集聚和疏散两种分布状态,衬底温度影响氢的总量和分布均匀性,射频功率显著影响[NH]/[SiH],退火后氢仍呈集聚和疏散两种分布. 展开更多
关键词 非晶氢化 氮化硅 薄膜 氢原子 质子核磁共振
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芒果叶提取物对几种水产病原菌的抑菌效果 被引量:2
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作者 蔡鸿娇 李忠琴 +4 位作者 林茂 黄思怡 翁丽敏 冯少贻 钱瑞芳 《饲料研究》 CAS 北大核心 2022年第3期63-67,共5页
试验以芒果叶为材料,测定其乙醇提取物对10种水产细菌病原的体外抑菌效果。结果显示,芒果叶提取物对河流弧菌(Vibrio fluvialis)、溶藻弧菌(Vibrio alginolyticus)、副溶血弧菌(Vibrio parahaemolyticus)、金黄色葡萄球菌(Staphylococcu... 试验以芒果叶为材料,测定其乙醇提取物对10种水产细菌病原的体外抑菌效果。结果显示,芒果叶提取物对河流弧菌(Vibrio fluvialis)、溶藻弧菌(Vibrio alginolyticus)、副溶血弧菌(Vibrio parahaemolyticus)、金黄色葡萄球菌(Staphylococcus aureus)、大肠杆菌(Escherichia coli)、爱德华氏菌(Edwardsiella)、无乳链球菌(S.agalactiae)均具有抑菌作用,其中对爱德华氏菌的抑制率最高,为91.67%,显著高于其他菌(P<0.05);对金黄色葡萄球菌、河流弧菌、大肠杆菌抑菌率均超过81.25%。芒果叶提取物对河流弧菌、无乳链球菌、金黄色葡萄球菌、爱德华氏菌的最小抑菌浓度(MIC)为25 g/L;对副溶血弧菌、溶藻弧菌、大肠杆菌的最小杀菌浓度(MBC)为50 g/L。研究表明,芒果叶提取物对水产常见病原菌表现出较好的抑菌活性,作为饲料添加剂或进一步开发植物源抑菌剂替代抗生素具有广阔的发展前景。 展开更多
关键词 芒果叶提取物 抑菌活性 弧菌 爱德华氏菌
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脉冲电压下介质膜的击穿寿命
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作者 范焕章 王刚宁 +2 位作者 翁丽敏 汪静 黎想 《华东师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1999年第3期52-58,共7页
该文测量了电应力作用下栅介质膜中陷阱电荷积累、以及在撤除应力后陷阱电荷减少的规律,在此基础上提出了解释脉冲应力下栅介质膜击穿寿命的模型。并对样品在直流电压与脉冲电压下的击穿寿命进行测量比较,发现随着脉冲频率的增加,栅... 该文测量了电应力作用下栅介质膜中陷阱电荷积累、以及在撤除应力后陷阱电荷减少的规律,在此基础上提出了解释脉冲应力下栅介质膜击穿寿命的模型。并对样品在直流电压与脉冲电压下的击穿寿命进行测量比较,发现随着脉冲频率的增加,栅介质膜击穿寿命增加。 展开更多
关键词 介质膜 击穿寿命 脉冲电压 电应力 VLSI
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PECVD a-SiNx:H的~1H NMR研究
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作者 翁丽敏 何奕骅 +3 位作者 范焕章 许春芳 杨光 邬学文 《华东师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1998年第3期40-47,共8页
用质子核磁共振(1HNMR)方法对等离子体化学气相淀积非晶氢化氮化硅薄膜(PECVD-α-SiNx:H)进行测量,分析膜中H的含量和分布与淀积温度、射频功率等工艺条件的关系,以及退火的影响。
关键词 氢原子 核磁共振 非晶氢化氮化硅 薄膜 PECVD
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PETEOS氧化硅膜的成分与电荷特性
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作者 许春芳 范焕章 +2 位作者 何弈骅 王刚宁 翁丽敏 《华东师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1996年第3期59-62,共4页
本文分析了以正硅酸乙酯溶液为源,用等离子体增强化学汽相淀积法淀积的氧化硅膜的成分与电荷等特性,以及淀积和退火工艺条件对这些特性的影响。
关键词 介质膜 VLSI 氧化硅膜 PETEOS 化学汽相淀积
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