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题名人工吸收杂质诱导增透膜损伤阈值研究
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作者
章汪维
朱华新
胡立发
刘涛
陈晓家
郭东铭
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机构
江南大学理学院
江苏省轻工光电工程技术研究中心
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出处
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第1期24-29,共6页
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基金
国家自然科学基金青年基金(61605067)
江苏省轻工光电工程技术研究中心(BM2014402)。
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文摘
为研究杂质大小对增透膜激光损伤阈值(LIDT)影响,利用光刻技术在熔石英基底表面设置厚度为100nm不同直径大小的柱状金属Al“杂质吸收点”,然后在此基础上沉积增透膜。通过Comsol模拟仿真了解损伤过程,并利用532nm纳秒激光器进行阈值测试,对实验数据与样品损伤形貌进行分析,结果表明杂质直径为50um、100um、200um、300um、400um的薄膜损伤阈值分别为18.93J/cm^(2),18.62J/cm^(2),17.11J/cm^(2),15.28J/cm^(2),13.47J/cm^(2),呈非线性下降,“杂质吸收点”吸收光能产生热量,传导于增透膜层后产生的轴向热应力超过了薄膜的拉伸强度是膜层损伤的主因。
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关键词
增透膜
杂质诱导
薄膜损伤阈值
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Keywords
anti-reflection film
impurity induction
film damage threshold
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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题名Al基反射膜的激光损伤阈值研究
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作者
刘涛
朱华新
曹建军
胡立发
章汪维
陈晓家
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机构
江南大学理学院
江苏省轻工光电工程技术研究中心
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出处
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第2期168-174,共7页
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基金
国家自然科学基金青年基金(61605067)
江苏省轻工光电工程技术研究中心(BM2014402)。
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文摘
为研究金属Al保护、单周期及双周期增强反射膜在5ns脉宽的532nm激光器下的激光损伤阈值(LIDT),采用Comsol软件进行仿真及分析,仿真过程引入SiO2和Ta2O5的拉伸强度(膜层断裂应力)作为阈值条件,得到三种膜系的损伤阈值分别为0.318J/cm^(2)、1.325J/cm^(2)和3.382J/cm^(2),通过搭建实验平台进行激光阈值测试,采用1-on-1模式,选取50%概率的激光损伤点作为损伤阈值,测得激光功率分别为0.288J/cm^(2)、1.232J/cm^(2)及3.152J/cm^(2),与仿真结果较为接近,说明采用拉伸强度分析的该类模型更符合实际损伤,为此类膜系在实际应用中阈值的预测提供了理论基础。
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关键词
反射膜
激光损伤
拉伸强度
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Keywords
reflective films
laser induction damage
tensile strength
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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