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微电子专业生产实习课程的改革与实践 被引量：12
1
作者 樊路嘉 陈德英 《实验室研究与探索》 CAS 2002年第5期138-140,共3页
介绍了重点工科高校电子类本科生生产实习课程的改革与实践所取得的一些成绩和经验。
关键词 微电子专业 生产实践课程 教学改革 素质教育 流水实验 高等教育
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重点高校基层实验室固定资产管理探讨 被引量：6
2
作者 樊路嘉 《实验技术与管理》 CAS 2003年第1期140-142,共3页
高校基层实验室固定资产,主要包括各种仪器、设备、办公器材等,直接面向教学、科研、开发应用等各方向,涉及到使用对象、合理配置、保管维护等诸多问题.牢固树立改革创新的思想方法,提倡资源共享,优化管理模式,加强规范操作,充分发挥高... 高校基层实验室固定资产,主要包括各种仪器、设备、办公器材等,直接面向教学、科研、开发应用等各方向,涉及到使用对象、合理配置、保管维护等诸多问题.牢固树立改革创新的思想方法,提倡资源共享,优化管理模式,加强规范操作,充分发挥高校仪器设备的资源优势,是现阶段高校实验室固定资产管理的重要课题.本文从管理者角度,探讨重点高校基层实验室固定资产管理的一些认识和方法. 展开更多
关键词 实验室 仪器设备 固定资产管理 资源 数据库
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PMOS辐照检测传感器 被引量：4
3
作者 陈德英 张旭 +3 位作者 姜岩峰 樊路嘉 张会珍 余艳玲 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2002年第1期3-6,共4页
比较了常用的 3种辐照剂量计 ,并详细介绍了PMOS辐照检测传感器的优点、制备工艺、工作模式。
关键词 PMOS 辐照传感器 RAFET 辐射剂量计
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辐射敏感PMOS管的研制
4
作者 陈德英 蔡振波 +3 位作者 姜岩峰 张旭 王成 樊路嘉 《电子器件》 CAS 2002年第4期345-348,共4页
本文根据辐射敏的特点设计了不同沟道长度 (L )和宽长比 (W/ L )的敏感管 ,并给出样品的直流参数的测试结果。
关键词 PMOS管 辐射敏感 阈值电压漂移 阈值吸收剂量
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高温SOICMOS倒相器瞬态特性的研究 被引量：1
5
作者 冯耀兰 宋安飞 +1 位作者 樊路嘉 张正璠 《电子器件》 CAS 2002年第4期324-326,共3页
本文主要研究高温 SOI CMOS倒相器在 (2 7～ 30 0℃ )宽温区的瞬态特性。研究结果表明 :当采用 N+ PN+和P+ PP+ 结构薄膜 SOI MOSFET组合 ,并且其结构参数满足高温应用的要求 ,则 SOI CMOS倒相器实验样品在 (2 7～ 30 0℃ )
关键词 高温SOI CMOS倒相器 互补金属-氧化物-半导体倒相器 瞬态特性 宽温区
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在薄二氧化硅层上纯多晶硅化镍膜的研究
6
作者 樊路嘉 秦明 《电子器件》 CAS 2002年第2期157-159,共3页
本文研究了在薄二氧化硅层上快速热退火 (RTA)形成的多晶硅化镍膜的电特性。对于在薄二氧化硅上的纯硅化镍膜 ,测试了其到衬底的泄漏电流 ,发现二氧化硅性质仍类似于多晶硅膜或纯铝膜下二氧化硅性质。采用准静态C V方法研究了多晶硅栅... 本文研究了在薄二氧化硅层上快速热退火 (RTA)形成的多晶硅化镍膜的电特性。对于在薄二氧化硅上的纯硅化镍膜 ,测试了其到衬底的泄漏电流 ,发现二氧化硅性质仍类似于多晶硅膜或纯铝膜下二氧化硅性质。采用准静态C V方法研究了多晶硅栅和纯硅化镍栅的多晶栅耗尽效应 (PDE) ,并探讨了硅化镍栅掺杂浓度和栅氧化层厚度对PDE的影响。结果表明 :即使在未被掺杂的纯硅化镍栅膜 ,也未曾观察到PDE。 展开更多
关键词 硅化物 多晶栅耗尽效应 硅化镍膜
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紫外可见光谱法测量光刻胶的膜厚(英文)
7
作者 王乐 刘力宇 +7 位作者 张浩康 樊路嘉 张鲁川 杨勇 黄瑞坤 周昕杰 李栋良 张 平 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期402-406,共5页
在液晶显示器的制造过程中,光刻是极为重要的制造工艺过程之一。将厚的独立的负胶膜或者将光刻胶涂敷在二氧化硅衬底上以后,可以测量其膜厚,因为光刻胶膜厚决定其光刻工艺的工艺条件。能够快速地测量光刻胶的膜厚,是液晶显示器制造过程... 在液晶显示器的制造过程中,光刻是极为重要的制造工艺过程之一。将厚的独立的负胶膜或者将光刻胶涂敷在二氧化硅衬底上以后,可以测量其膜厚,因为光刻胶膜厚决定其光刻工艺的工艺条件。能够快速地测量光刻胶的膜厚,是液晶显示器制造过程的先决性工作的一部分。文章提出了测量上述光刻胶膜厚的新方法,即利用紫外可见吸收光谱法中的Beer-Lambert定律来确定膜厚。在我们的研究中,采用acrylic负胶作为基质(resin) ,它分别具有50μm和100μm的膜厚。在350 nm时,50μm的薄膜的最大吸收为0 .728 ,而100μm的最大吸收为1 .468 5。而在正胶的研究中,采用novolac作为基质(resin)。它的膜厚通常是1 ～5μm。在紫外可见吸收光谱测膜厚的实验中,当重氮荼醌的吸收波长为403 .8 nm时,5 .93μm厚的薄膜的最大吸收为1 .757 4 ,其膜厚是由扫描电镜测得的。而另一个正胶薄膜在403 .8 nm的最大吸收为0 .982 3 ,其薄膜厚度计算得到为3 .31μm。利用这些数据,我们得到了这两种光刻胶薄膜的紫外可见吸收光强与其膜厚关系的两个校准曲线。 展开更多
关键词 紫外可见吸收光谱 Beer-Lambert's LAW 光刻胶薄膜厚度 吸收
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地下油库储油测量仪
8
作者 樊路嘉 邓宁冲 《实验技术与管理》 CAS 2001年第4期26-28,35,共4页
根据地下油库实际情况和储油量测量要求,本文介绍一种坚固可靠,使用安全的地下油库储油量测量仪,可以快速方便地测量油层厚度及渗水量,是一种非常实用的测量仪器.
关键词 地下油库 储油量 渗水量 传感器 频率调制 声讯信号 测量仪
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