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掺氮对类金刚石薄膜场发射的影响 被引量：1
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作者 马会中 张兰 +5 位作者 姚宁 李运均 毕兆琪 王小平 张兵临 胡欢陵 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2001年第11期1246-1248,共3页
利用脉冲激光沉积技术制备出了掺氮和未掺氮的类金刚石薄膜。采用X射线衍射仪、喇曼光谱仪、扫描电镜观察了掺氮和未掺氮类金刚石薄膜的微结构和表面形貌。场发射实验表明,掺氮降低了类金刚石薄膜的阈值电场,提高了发射电流密度。
关键词 类金刚石薄膜 场发射 掺氮
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