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题名光学元件的疵病检验与研究现状
被引量:30
- 1
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作者
戴名奎
徐德衍
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机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
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出处
《光学仪器》
1996年第3期33-36,共4页
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文摘
“光学零件表面疵病”曾在国家标准GB1031-68及GB1185-89中做过专门描述。研究发现,这些标准与国际上一些国家的相关标准及测试方法相差较大,而最近国际光学委员会推荐的一个不同用途光学元件的疵病指标值得注意[1]。本文在介绍了一些国外标准的基础上,侧重分类描述了当今世界上具有代表性的疵病检验方法、原理及各自的特点,旨在为我国光学界同行在应用、研究及制定相关标准时参考。文后作者提出了在光学元件的疵病检验和标准制定方面的一些粗浅看法。
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关键词
表面疵病
等效线宽
光学元件
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分类号
TH740.3
[机械工程—光学工程]
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题名光学元件的疵病检验与研究现状(续)
被引量:12
- 2
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作者
戴名奎
徐德衍
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机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
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出处
《光学仪器》
1996年第4期32-39,共8页
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文摘
“光学零件表面疵病”曾在国家标准GB1031-68及GB1185-89中做过专门描述。研究发现,这些标准与国际上一些国家的相关标准及测试方法相差较大,而最近国际光学委员会推荐的一个不同用途光学元件的疵病指标值得注意[1]。本文在介绍了一些国外标准的基础上,侧重分类描述了当今世界上具有代表性的疵病检验方法、原理及各自的特点,旨在为我国光学界同行在应用、研究及制定相关标准时参考。文后作者提出了在光学元件的疵病检验和标准制定方面的一些粗浅看法。
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关键词
表面疵病
光学仪器
光学元件
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Keywords
Surface Imperfection, Scratch, Dig, Line -equivalent Width (LEW )
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分类号
TH740.3
[机械工程—光学工程]
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题名超半口径补偿剪切干涉法测量脉冲激光波面半径
被引量:2
- 3
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作者
徐德衍
戴名奎
沈卫星
蒋玉柱
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机构
中国科学院上海光机所
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第4期311-314,共4页
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文摘
针对当前对脉冲激光波面半径测量缺乏有效的测试方法,提出了集大错位与等光程于一体的四平板剪切干涉法,达到对脉冲激光波面半径的高精度测量。R值在30~1000m的范围内,测量误差小于±5%
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关键词
波面半径
等光程
剪切干涉
脉冲激光技术
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Keywords
the laser wavefront radius of curvature, shearing interference, equal optical path
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分类号
TN24
[电子电信—物理电子学]
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题名衍射光强取样分析法测定划痕宽度:理论部分
被引量:3
- 4
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作者
戴名奎
徐德衍
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机构
中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理实验室
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第3期351-356,共6页
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文摘
在理论上分析了截面为矩形、三角形和余弦形的划痕的衍射花样的相似性,并在此基础上提出了一种测定划痕宽度的衍射光强取样分析法。本文还就消除光阑衍射光及粗糙度散射光的干扰提出了行之有效的措施。
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关键词
衍射光强分布
实际宽度
等效线宽
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Keywords
diffraction pattern, real width, line equivalent width.
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分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
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题名衍射光强取样分析法测定划痕宽度:实验部分
被引量:1
- 5
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作者
戴名奎
徐德衍
沈卫星
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机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第1期90-94,共5页
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文摘
根据衍射光强取样分析法理论部分的测量原理设计了一套实验方案,比较了该方法与轮廓仪、显微镜对划痕实际宽度的测试结果,给出了其相对测量误差,并分析了误差的主要来源。该方法速度快,精度高,有推广和应用的价值。
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关键词
衍射花样
划痕宽度测量
衍射光强
取样分析
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Keywords
diffraction pattern, scratch width, measurement.
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分类号
TG84
[金属学及工艺—公差测量技术]
O436.1
[机械工程—光学工程]
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