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选择液相外延法制备GaAs SNOM微探尖
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作者 胡礼中 +2 位作者 孙晓娟 王志俊 梁秀萍 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期1178-1181,共4页
使用GaAs(001)衬底模拟垂直腔面发射激光器(VCSEL)外延片表面,采用选择液相外延技术在其上面制备了用于超高密度光存储的扫描近场光学显微术GaAs微探尖阵列,并用扫描电子显微镜对微探尖阵列进行了表征.结果表明,在合适的条件下,微探尖... 使用GaAs(001)衬底模拟垂直腔面发射激光器(VCSEL)外延片表面,采用选择液相外延技术在其上面制备了用于超高密度光存储的扫描近场光学显微术GaAs微探尖阵列,并用扫描电子显微镜对微探尖阵列进行了表征.结果表明,在合适的条件下,微探尖呈金字塔状,并且有着较好的分布周期性.这对解决微探尖与VCSEL出光窗口的对准问题、批量制备问题和实现多探尖并行扫描具有实际应用价值. 展开更多
关键词 选择液相外延 微探尖 扫描近场光学显微术
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液相外延生长GaAs微探尖刻蚀剥离技术研究 被引量:1
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作者 梁秀萍 冯秋菊 +4 位作者 贺秋 田怡春 孙晓娟 胡礼中 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1490-1492,共3页
介绍一种用于扫描近场光学显微术(NSOM)传感头的GaAs微探尖的生长剥离技术。通过SiO2掩膜窗口,利用一次选择液相外延制备周期性阵列的GaAs微探尖。在GaAs衬底与GaAs微探尖之间引入AlGaAs层,并对窗口大小的AlGaAs层进行选择腐蚀,将单个G... 介绍一种用于扫描近场光学显微术(NSOM)传感头的GaAs微探尖的生长剥离技术。通过SiO2掩膜窗口,利用一次选择液相外延制备周期性阵列的GaAs微探尖。在GaAs衬底与GaAs微探尖之间引入AlGaAs层,并对窗口大小的AlGaAs层进行选择腐蚀,将单个GaAs微探尖从GaAs衬底上剥离下来。扫描电子显微镜显示的结果表明,此微探尖具有金字塔结构、表面光滑且转移过程无损伤。这种技术制备的GaAs微探尖的形貌与质量主要由晶体的结构决定,具有可重复、表面光滑、适合批量生产的优点。 展开更多
关键词 液相外延 微探尖 湿法刻蚀 扫描近场光学显微术
原文传递
基于液相外延生长的集成式微探尖
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作者 梁秀萍 +1 位作者 孙晓娟 胡礼中 《集美大学学报(自然科学版)》 CAS 2005年第4期356-359,共4页
阐述了用于超高密度光存储的集成式扫描近场光学显微术(SNOM)微探尖的液相外延选择生长方案,并给出了实验结果.此种微探尖,可直接生长在微型集成式SNOM传感器的垂直腔表面发射激光器(VCSEL)晶片出光口上,避免了探尖转移带来的探尖损坏... 阐述了用于超高密度光存储的集成式扫描近场光学显微术(SNOM)微探尖的液相外延选择生长方案,并给出了实验结果.此种微探尖,可直接生长在微型集成式SNOM传感器的垂直腔表面发射激光器(VCSEL)晶片出光口上,避免了探尖转移带来的探尖损坏、难以对准等技术难题.该制作过程具有重复性较好,设备简单、经济,实用价值较高等优点. 展开更多
关键词 近场光存储 集成式SNOM 液相外延 选择生长 金字塔微探尖
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GaAs微探尖的衬底选择刻蚀法剥离和转移 被引量:2
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作者 孙晓娟 胡礼中 +4 位作者 田怡春 籍权 梁秀萍 潘石 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期89-92,共4页
报道了一种用于制作扫描近场光学显微术(SNOM)传感头的GaAs微探尖的剥离和转移方法—GaAs衬底选择湿法刻蚀技术。利用扫描电子显微镜对转移后的微探尖进行了表征。结果表明,通过此方法能够成功地将GaAs微探尖转移到目标晶片上,并且在剥... 报道了一种用于制作扫描近场光学显微术(SNOM)传感头的GaAs微探尖的剥离和转移方法—GaAs衬底选择湿法刻蚀技术。利用扫描电子显微镜对转移后的微探尖进行了表征。结果表明,通过此方法能够成功地将GaAs微探尖转移到目标晶片上,并且在剥离和转移过程中微探尖没有受到损伤。这种技术对实现由带有PIN光探测器的垂直腔面发射激光器与GaAs微探尖的混合集成式SNOM传感头有着非常重要的应用价值。 展开更多
关键词 湿法刻蚀 液相外延 微探尖 扫描近场光学显微术
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LPE-GaAs微探尖与VCSEL的粘合集成 被引量:1
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作者 田怡春 胡礼中 +2 位作者 梁秀萍 潘石 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1185-1187,共3页
介绍了应用于扫描近场光学显微术(SNOM)传感头的GaAs微探尖与垂直腔表面发射激光器(VCSEL)的粘合集成方法,并利用扫描电子显微镜对集成后的微探尖与VCSEL进行了表征。结果表明,该种方法能够成功地将微探尖转移并集成到VCSEL的出光窗口上... 介绍了应用于扫描近场光学显微术(SNOM)传感头的GaAs微探尖与垂直腔表面发射激光器(VCSEL)的粘合集成方法,并利用扫描电子显微镜对集成后的微探尖与VCSEL进行了表征。结果表明,该种方法能够成功地将微探尖转移并集成到VCSEL的出光窗口上,实现微探尖与出光窗口的对准,并且整个过程中不会对微探尖造成损伤。这种技术对进一步实现由带有PIN光探测器的VCSEL与GaAs微探尖的混合集成式SNOM传感头有着重要的应用价值。 展开更多
关键词 粘合集成 微探尖 液相外延 扫描近场光学显微术
原文传递
如何提高高中体育课堂教学有效性的实践
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作者 《好日子》 2020年第21期264-264,共1页
随着教育改革进程的推进,以及人们对体育认知的深入,传统的体育教学模式显然已经无法适应新时代的发展潮流。高中体育课堂教学有效性的进一步提高势在必行,这不仅是为了高中体育教学质量的稳定提升,同时更是为了更好地响应快乐体育的教... 随着教育改革进程的推进,以及人们对体育认知的深入,传统的体育教学模式显然已经无法适应新时代的发展潮流。高中体育课堂教学有效性的进一步提高势在必行,这不仅是为了高中体育教学质量的稳定提升,同时更是为了更好地响应快乐体育的教育口号。基于此,本文针对高中体育课堂教学有效性实践过程中所存在的问题,进行了较为全面的分析,并提出了几点可行性的建议,旨在能够提高学生的学习效率及高中体育的教学质量。 展开更多
关键词 高中体育 课堂教学 有效性 策略探讨
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