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爪型泵型线的研究 被引量：24
1
作者 姚民生 平功长 《真空》 CAS 北大核心 1989年第3期9-13.5,53,共6页
在半导体元件的制造中，腐蚀蒸汽及磨损粒子会污染油封泵的润滑剂，并降低其使 用寿命。为了解决这个问题，开发了干式真空泵。本文重点介绍了干式泵中很有前途的 爪型泵，并给出了计算型线的方程式。
关键词 爪型 泵 型线 改型 工艺设计
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爪型泵的抽速计算及其平衡的研究 被引量：3
2
作者 姚民生 平功长 邓勇 《真空》 CAS 北大核心 1989年第6期14-19,共6页
在爪型泵型线研究［１］的基础上，本文推导出该泵的理论抽速计算式，为了对爪形 转子的动平衡进行分析与计算，本文又给出了该转子的质心计算式。
关键词 爪型泵 抽速 计算 平衡
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