期刊文献+

爪型泵型线的研究 被引量:24

Study on Profile of Claw Type Vacuum Pumps
下载PDF
导出
摘要 在半导体元件的制造中,腐蚀蒸汽及磨损粒子会污染油封泵的润滑剂,并降低其使 用寿命。为了解决这个问题,开发了干式真空泵。本文重点介绍了干式泵中很有前途的 爪型泵,并给出了计算型线的方程式。 During producing semiconductor components, aggressive vapours and / or abrasive particles may contaminate the lubricant of oil lubricated rotary pump, which shortens its service life. To overcome these problems,one kind of dry pumps has been developed.This paper especially introduces the claw type pump with wide future among dry pumps,and has the equation about the calculation of profile.
机构地区 东北工学院
出处 《真空》 CAS 北大核心 1989年第3期9-13.5,53,共6页 Vacuum
  • 相关文献

同被引文献77

引证文献24

二级引证文献54

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部