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镍基阵列微针的薄胶微电铸制备工艺
1
作者 王华安 李晓建 +3 位作者 尹鹏和 宋佳忻 张宇 梁军生 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第16期2492-2503,共12页
阵列镍微针具有机械强度高、导电性好等优点,广泛应用于生物工程等领域。微电铸工艺凭借其复制精度高、适应性广等优点,已成为制备镍微针的可靠方法。然而,在微电铸工艺中,通常需要使用与铸层厚度相同的光刻胶模具,导致厚胶微电铸时面... 阵列镍微针具有机械强度高、导电性好等优点,广泛应用于生物工程等领域。微电铸工艺凭借其复制精度高、适应性广等优点,已成为制备镍微针的可靠方法。然而,在微电铸工艺中,通常需要使用与铸层厚度相同的光刻胶模具,导致厚胶微电铸时面临微结构处存留残胶、胶层难以去除等问题。为了解决上述问题,获得尖端曲率半径为纳米尺度的阵列镍微针,我们提出了镍基阵列微针的薄胶微电铸制备工艺并进行实验验证。首先,利用(100)型单晶硅的各向异性刻蚀特性制备阵列锥坑硅模具;接着,在硅模具表面溅射一层厚度为200 nm的镍种子层;然后,使用光刻工艺制备微针支撑梁薄胶模具;最后,对硅模具进行微电铸,释放阵列镍微针。实验结果表明:本实验采用的方法可以在不损伤硅模具的前提下,得到尺寸平均偏差1.7μm、绝对位置平均偏差1.8μm、尖端平均曲率半径150 nm的阵列镍微针;使用厚度为~2μm的RFJ-60负性光刻胶作为微电铸的模具,成功制备出厚度为~24.3μm的阵列镍微针支撑梁。此外,通过将SiO2侧蚀量补偿进光刻掩膜版图形尺寸的方法,将镍微针相对尺寸误差降低至1%。结合微电铸工艺和单晶硅的各向异性刻蚀特性,能够高质量、高效率地制备阵列镍微针,为阵列镍微针的批量化制备奠定了基础。 展开更多
关键词 阵列镍微针 硅模具 微电铸工艺 侧蚀量补偿
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基于纳米裂纹的超高灵敏度柔性温度传感器 被引量：4
2
作者 初永志 郭洪吉 +1 位作者 尹鹏和 刘军山 《机电工程技术》 2018年第11期33-35,59,共4页
利用光刻和弯曲的方法,在聚二甲基硅氧烷(PDMS)基底上制作出一种带有纳米裂纹的柔性温度传感器。该传感器的平均电阻温度系数TCR高达1.4/K,比传统的温度传感器提高3个数量级。此外,还对单方向弯曲和双方向弯曲制作的温度传感器的性能进... 利用光刻和弯曲的方法,在聚二甲基硅氧烷(PDMS)基底上制作出一种带有纳米裂纹的柔性温度传感器。该传感器的平均电阻温度系数TCR高达1.4/K,比传统的温度传感器提高3个数量级。此外,还对单方向弯曲和双方向弯曲制作的温度传感器的性能进行对比分析。实验结果表明双方向弯曲制作的温度传感器具有更高的灵敏度,但测量范围较窄。 展开更多
关键词 纳米裂纹 聚二甲基硅氧烷 温度传感器
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休斯光刻机汞灯电源的原理与维修技术 被引量：3
3
作者 单庆 刘冲 +3 位作者 姜睿 尹鹏和 徐征 崔岩 《实验室科学》 2016年第4期192-194,共3页
汞灯具有电弧密度大、亮度高、近紫外谱线集中等许多优点,在微电子光刻领域中有广泛应用。由于汞灯为高强度气体放电灯,发光受环境温度、电压强度等因素影响较大,为光刻设备中易出现故障的器件之一。在大连理工大学微系统实验室近9年的... 汞灯具有电弧密度大、亮度高、近紫外谱线集中等许多优点,在微电子光刻领域中有广泛应用。由于汞灯为高强度气体放电灯,发光受环境温度、电压强度等因素影响较大,为光刻设备中易出现故障的器件之一。在大连理工大学微系统实验室近9年的使用过程中,对德国休斯公司生产的MA6型光刻机的汞灯工作原理进行了充分的研究和分析。通过维修,解决了汞灯电源电流停机保护故障和温度停机保护故障两个问题,保障了设备的正常运行。同时,揭示了汞灯光源的功率电路、控制电路原理,介绍了恒功率输出、恒光强输出的电路工作原理。 展开更多
关键词 光刻机 汞灯电源 故障分析维修
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汽车动力总成动态干涉校验仿真中的包络分析 被引量：3
4
作者 胡宁 尹鹏和 +1 位作者 高卫民 徐康聪 《图学学报》 CSCD 北大核心 2012年第3期81-84,共4页
为了在有限的发动机舱内合理地布置动力总成,需要确定动力总成的动态包络空间。运用坐标变换和特殊的型值点提取方法,完成各种姿态下动力总成数模的转换和包络面数模简化。借助CATIA二次开发工具CAA,开发出能够在仿真环境下自动生成动... 为了在有限的发动机舱内合理地布置动力总成,需要确定动力总成的动态包络空间。运用坐标变换和特殊的型值点提取方法,完成各种姿态下动力总成数模的转换和包络面数模简化。借助CATIA二次开发工具CAA,开发出能够在仿真环境下自动生成动力总成动态包络面的分析模块,从而达到简化包络面数据、减少运算时间、提高工作效率的目的。 展开更多
关键词 计算机应用 动态包络分析 坐标变换 动力总成 包络面构造
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基于CATIA/CAA的发动机动态包络简化方法研究 被引量：1
5
作者 尹鹏和 胡宁 +1 位作者 高卫民 徐康聪 《汽车工程》 EI CSCD 北大核心 2009年第6期507-511,共5页
针对在CATIA中使用传统方法生成发动机包络时效率低下的情况,提出了一种简化发动机动态包络模型的方法。该方法基于CAA,以CATIA为平台,Visual C++为编程工具,快速自动生成发动机多工况下的动态包络。这种简化方法缩短了计算机运行时间,... 针对在CATIA中使用传统方法生成发动机包络时效率低下的情况,提出了一种简化发动机动态包络模型的方法。该方法基于CAA,以CATIA为平台,Visual C++为编程工具,快速自动生成发动机多工况下的动态包络。这种简化方法缩短了计算机运行时间,提高了工作效率,为发动机动态干涉校验提供了坚实的基础。 展开更多
关键词 CATIA CAA 发动机 包络 简化
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开放式光谱椭偏实验教学中的科研训练
6
作者 陈莉 尹鹏和 +2 位作者 刘军山 徐征 崔岩 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2017年第9期181-184,共4页
椭偏法在材料的光学性质和薄膜厚度检测中发挥着重要的作用,椭偏测量也已纳入很多高校的实验教学内容。针对实验教学中原理展示性不足、与科研实际结合不紧密的问题,对课程形式和内容进行了改变。制作了光谱椭偏仪器件装配和动态测量视... 椭偏法在材料的光学性质和薄膜厚度检测中发挥着重要的作用,椭偏测量也已纳入很多高校的实验教学内容。针对实验教学中原理展示性不足、与科研实际结合不紧密的问题,对课程形式和内容进行了改变。制作了光谱椭偏仪器件装配和动态测量视频,增加椭偏测量教学中的原理展示性,加强理论贯通性,联系科研实际,增加实验内容,通过对不同类型样品的测量分析讨论,培养学生解决实际问题的能力和创造性思维。 展开更多
关键词 光谱椭偏仪 椭偏实验 折射率 膜厚
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MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较 被引量：3
7
作者 陈莉 尹鹏和 《传感器与微系统》 CSCD 2015年第10期15-17,21,共4页
精确测量各种功能薄膜的厚度在微机电系统(MEMS)制造加工过程中有非常重要的意义。利用接触式表面轮廓仪、光谱椭偏仪、电感测微仪、扫描电镜、原子力显微镜和工具显微镜分别测量了10 nm^100μm各种薄膜的厚度。比较了不同测量仪器的测... 精确测量各种功能薄膜的厚度在微机电系统(MEMS)制造加工过程中有非常重要的意义。利用接触式表面轮廓仪、光谱椭偏仪、电感测微仪、扫描电镜、原子力显微镜和工具显微镜分别测量了10 nm^100μm各种薄膜的厚度。比较了不同测量仪器的测量范围、分辨率和对样品的适用性,分析了薄膜厚度测量过程中误差产生的机理。实验结果表明:当存在膜层台阶时,10 nm^100μm的膜厚测量均可采用接触式表面轮廓仪,对于硬度较高的膜层可采用电感测微仪,对于厚度小于0.5μm的膜层可采用原子力显微镜;对于可观察样品侧面、厚度大于0.7μm的膜层可采用扫描电镜,工具显微镜适用于μm级膜层,对于厚度大于20μm的膜层不宜采用光谱椭偏仪。 展开更多
关键词 薄膜厚度 接触式表面轮廓仪 光谱椭偏仪
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