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CVD法制备铝化物涂层装置沉积室内前驱体流场仿真设计研究 被引量：5
1
作者 张博闻 吴勇 +3 位作者 杨甫 黄天纵 孟施旭 赵智鑫 《材料保护》 CAS CSCD 2021年第5期1-6,共6页
为了制备均匀的CVD铝化物涂层,应保证沉积室内前驱气体的流场分布的均匀性。采用计算流体力学方法对沉积室内的前驱流体流场进行了仿真研究,对比了装备A、B、C型3种布风装置的CVD沉积室内流场的变化;对比了将初始进气口平均流速v经验提... 为了制备均匀的CVD铝化物涂层,应保证沉积室内前驱气体的流场分布的均匀性。采用计算流体力学方法对沉积室内的前驱流体流场进行了仿真研究,对比了装备A、B、C型3种布风装置的CVD沉积室内流场的变化;对比了将初始进气口平均流速v经验提升至其1.5,2.0,2.5,5.0倍后沉积室内流场的变化。结果表明:选择B型布风装置能令前驱气体均匀地从进气口流向沉积室内部,且被充分加热;前驱体的最大流速v_(max)在2.0 v经验≤v_(max)<2.5 v经验时可保证气流分布、温度分布的均匀性。利用此结果,指导设计了CVD沉积室的布风装置,同时探讨了提升前驱体流速对气体流场均匀性的影响。 展开更多
关键词 CVD 铝化物涂层 计算流体力学 仿真设计
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计算流体力学(CFD)在化学气相沉积(CVD)模拟仿真中的应用 被引量：1
2
作者 张博闻 吴勇 +3 位作者 杨甫 夏思瑶 黄天纵 孟施旭 《材料保护》 CAS CSCD 2022年第9期141-147,共7页
CVD工艺在工业生产中得到广泛应用,但CVD产物却受到许多参数的影响,而这些参数的变化如何影响沉积质量则需要重复试验才能得出结论。在CVD领域中引入计算流体力学(CFD)方法来对CVD过程进行数值模拟研究可以达到有效降低研发成本、提高... CVD工艺在工业生产中得到广泛应用,但CVD产物却受到许多参数的影响,而这些参数的变化如何影响沉积质量则需要重复试验才能得出结论。在CVD领域中引入计算流体力学(CFD)方法来对CVD过程进行数值模拟研究可以达到有效降低研发成本、提高沉积效率等目的。简要介绍了计算流体力学的概念;接着以AN⁃SYS Fluent软件为例,简述了计算流体力学仿真分析的方法;最后分别综述了计算流体力学方法在建立CVD反应的研究模型、CVD反应器结构改进以及CVD工艺优化等方面的应用。 展开更多
关键词 CVD 计算流体力学 仿真方法 CFD应用
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改性元素对镍基合金表面铝化物涂层组织和性能的影响 被引量：3
3
作者 孟施旭 吴勇 +4 位作者 夏思瑶 孙清云 夏春怀 杨汉哲 杜建融 《材料保护》 CAS CSCD 2023年第3期114-123,共10页
单一铝化物涂层存在抗高温氧化性能及抗高温热腐蚀性能不足等问题,添加改性元素可以改变铝化物涂层的组织成分,添加改性元素通过影响氧化膜的转变与脱落、铝元素和氧元素的扩散,从而影响涂层的抗氧化性以及抗热腐蚀性能,改变涂层的力学... 单一铝化物涂层存在抗高温氧化性能及抗高温热腐蚀性能不足等问题,添加改性元素可以改变铝化物涂层的组织成分,添加改性元素通过影响氧化膜的转变与脱落、铝元素和氧元素的扩散,从而影响涂层的抗氧化性以及抗热腐蚀性能,改变涂层的力学性能。梳理了近年来有关改性元素对铝化物涂层的组织结构、抗氧化性能、抗热腐蚀性能以及力学性能的影响的相关研究,展望了未来镍基合金上改性铝化物涂层的发展方向。 展开更多
关键词 铝化物涂层 改性元素 抗高温氧化 抗腐蚀性能 力学性能
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Inconel625与Inconel601合金耐高温氯离子腐蚀性能及机理的比较研究
4
作者 吴勇 孟施旭 +5 位作者 孙清云 陈辉 夏思瑶 杨甫 夏春怀 杨汉哲 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2023年第9期208-213,共6页
利用SEM、EDS以及XRD等分析手段研究了Inconel625和Inconel601合金的耐高温氯离子腐蚀性能以及腐蚀机理,对比分析了两种合金在1100℃高温氯离子腐蚀条件下的腐蚀动力学曲线、腐蚀产物以及腐蚀层的表面、截面形貌。结果表明,Inconel625和... 利用SEM、EDS以及XRD等分析手段研究了Inconel625和Inconel601合金的耐高温氯离子腐蚀性能以及腐蚀机理,对比分析了两种合金在1100℃高温氯离子腐蚀条件下的腐蚀动力学曲线、腐蚀产物以及腐蚀层的表面、截面形貌。结果表明,Inconel625和Inconel601合金都表现为前期腐蚀迅速后期平缓,Inconel625合金的耐高温氯离子腐蚀性能优于Inconel601合金。Inconel625合金在腐蚀过程中生成了含有复杂氧化物的氧化膜,Inconel601合金主要的腐蚀产物有Cr_(2)O_(3)、AlFeO_(3)以及Al_(18)Cr_(5)相,Inconel625合金主要的腐蚀产物有Al_(2)O_(3)、Fe_(2)O_(3)、Cr_(5)O_(12)以及NiCrO_(4)相。Inconel625合金由于Nb元素的钉扎作用以及尖晶石结构的NiCrO_(4)的生成,增大了氧化膜的附着力,使其耐蚀性优于Inconel601合金。 展开更多
关键词 INCONEL625合金 高温 氯离子 耐蚀性
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