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制备气敏膜的新方法及膜的光学特性 被引量：1
1
作者 越泽廷 姚纲照 周佐平 《华南理工大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第7期36-40,共5页
根据气敏光学特性的要求，用可控气压喷涂和高温处理的新方法，制成ＳｎＯ２膜。膜面平整均匀，晶粒结构细密，缺陷较少，其光学特性比其它方法制成的薄膜好，使用的设备及工艺简单。
关键词 气敏 喷涂 热处理 薄膜 光学特性
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气敏膜的喷涂-热处理法研究 被引量：1
2
作者 越泽廷 姚纲照 周佐平 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1997年第7期10-12,共3页
本文根据气敏光学特性ＳｎＯ２膜的要求，研究采用可控气压喷涂，然后在高温下热处理成膜的方法，使用的设备及工艺方法简单，膜质量好。
关键词 气敏元件 喷涂 热处理 薄膜 二氧化锡
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2种不同工艺制备的“气敏－光学”敏感膜 被引量：6
3
作者 姚纲照 翁文华 周佐平 《郑州轻工业学院学报（自然科学版）》 CAS 1994年第S1期220-220,共1页
２种不同工艺制备的“气敏－光学”敏感膜姚纲照，翁文华，周佐平（华南理工大学应用物理系广州５１０６４１）关键词薄膜；氧化锡；气敏膜；光学膜中图分类号ＴＰ２１２．２近年来，发现了ＳｎＯ２半导体薄膜的“气敏－光学”特性，即... ２种不同工艺制备的“气敏－光学”敏感膜姚纲照，翁文华，周佐平（华南理工大学应用物理系广州５１０６４１）关键词薄膜；氧化锡；气敏膜；光学膜中图分类号ＴＰ２１２．２近年来，发现了ＳｎＯ２半导体薄膜的“气敏－光学”特性，即薄膜的光透过率随其周围的气体种类及... 展开更多
关键词 薄膜 氧化锡 气敏膜 光学膜
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