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题名底电极种类对BCZT薄膜储能性能的影响
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作者
何上恺
唐嗣麟
梁国闯
彭彪林
王宁章
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机构
广西大学资源环境与材料学院
广西大学物理科学与工程技术学院
镍钴资源综合利用国家重点实验室
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出处
《广西大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2019年第5期1422-1427,共6页
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基金
国家自然科学基金(51402196、51602159)
广西自然科学基金(2016GXNSFCB380006、2017GXNSFFA198015)
+1 种基金
广西大学人才引进科研启动基金(Grant XTZ160530)
“镍钴资源综合利用国家重点实验室”开放课题资助项目(金科冶2019-01)
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文摘
拥有高的储能密度值和良好的温度稳定性的介电薄膜电容器在现代微电子系统中非常具有吸引力。为研究不同底电极对(Ba(0.904)Ca(0.096))(Zr(0.136)Ti(0.864))O3(BCZT)薄膜储能性能的影响,采用溶胶凝胶法制备了沉积在不同底电极上的BCZT薄膜。除了Pt(111)/TiOx/SiO2/Si底电极(简写为Pt)外,引入了LaNiO3氧化物导电层构造LaNiO3/Pt复合底电极。微观结构测试结果表明,LaNiO3氧化物导电层的引入有效的改善了BCZT薄膜的表面形貌,薄膜表面气孔尺寸明显变小。电学性能测试结果表明,直接沉积在Pt底电极上的BCZT薄膜储能密度为8.58 J/cm^3,效率很低,仅为64.6%;相反,沉积在LaNiO3/Pt复合底电极上的BCZT薄膜在相同电场下其储能密度为12.53 J/cm^3,效率提升到84.7%。此外,沉积在LaNiO3/Pt复合底电极上的BCZT薄膜显示出良好的温度稳定性:在20~210℃的温度范围内,储能效率保持在80%以上。
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关键词
BCZT
溶胶凝胶
薄膜
储能
热稳定性
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Keywords
BCZT
sol-gel
thin film
energy storage
thermal stability
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分类号
TQ174.1
[化学工程—陶瓷工业]
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