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微纳牛级力检测的球膜敏感元件力学分析
1
作者
卢
占
毫
陆永华
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第16期1978-1981,共4页
为了实现工业技术领域的微纳牛级力大小的精确测量,以厚度约700nm、直径50mm左右的球形薄膜为敏感元件,将微纳牛级待测微粒置于球膜上,根据球膜变形量得出被测微粒的重力大小;利用ANSYS建立球形薄膜的力学模型,根据正交试验法设计试验工...
为了实现工业技术领域的微纳牛级力大小的精确测量,以厚度约700nm、直径50mm左右的球形薄膜为敏感元件,将微纳牛级待测微粒置于球膜上,根据球膜变形量得出被测微粒的重力大小;利用ANSYS建立球形薄膜的力学模型,根据正交试验法设计试验工况,对球膜进行多种工况的受力分析;采用奇异值分解的最小二乘拟合算法处理试验数据,得出变形量、球膜参数以及微粒子重力之间的拟合公式;将拟合公式计算出的变形量理论值与对应试验值进行比较,结果表明:载荷在2～10μN范围内,检测误差不超过1%。
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关键词
球膜变形量
微纳牛级力
球膜直径
球膜厚度
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职称材料
题名
微纳牛级力检测的球膜敏感元件力学分析
1
作者
卢
占
毫
陆永华
机构
南京航空航天大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第16期1978-1981,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(51005122)
南京航空航天大学基本科研业务费专项科研项目(Y1034-053)
航空科学基金资助项目(2008ZE52049)
文摘
为了实现工业技术领域的微纳牛级力大小的精确测量,以厚度约700nm、直径50mm左右的球形薄膜为敏感元件,将微纳牛级待测微粒置于球膜上,根据球膜变形量得出被测微粒的重力大小;利用ANSYS建立球形薄膜的力学模型,根据正交试验法设计试验工况,对球膜进行多种工况的受力分析;采用奇异值分解的最小二乘拟合算法处理试验数据,得出变形量、球膜参数以及微粒子重力之间的拟合公式;将拟合公式计算出的变形量理论值与对应试验值进行比较,结果表明:载荷在2～10μN范围内,检测误差不超过1%。
关键词
球膜变形量
微纳牛级力
球膜直径
球膜厚度
Keywords
spherical film deformation
nN -- level force
spherical film diameter
spherical filmthickness
分类号
TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
微纳牛级力检测的球膜敏感元件力学分析
卢
占
毫
陆永华
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
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