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半导体晶圆专用UPSS电子级氢氟酸储存方法研究 被引量：2
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作者 杨涛 曹武亮 万群平 《有机氟工业》 CAS 2018年第1期20-23,共4页
半导体晶圆专用UPSS电子级氢氟酸在储存过程中容易受到污染且储存周期短,为2~3 d。从储存设备的内衬材质和新型特殊自呼吸装置两方面进行了研究。通过选择内衬材质和新型特殊自呼吸装置,成功解决了金属离子不断释放污染产品的问题,并延... 半导体晶圆专用UPSS电子级氢氟酸在储存过程中容易受到污染且储存周期短,为2~3 d。从储存设备的内衬材质和新型特殊自呼吸装置两方面进行了研究。通过选择内衬材质和新型特殊自呼吸装置,成功解决了金属离子不断释放污染产品的问题,并延长储存周期至30 d。 展开更多
关键词 半导体晶圆 UPSS电子级氢氟酸 新型特殊自呼吸装置
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