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端部霍尔离子源工作特性及等离子体特性研究 被引量:14
1
作者 潘永强 朱昌 +1 位作者 智利 杭凌侠 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第1期57-60,共4页
研制了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的端部霍尔等离子体离子源 ,论述了该源的工作原理以及伏安特性。着重研究了用五栅网探针测试该源所发射的离子能量的原理和方法 ,并对测量结果进行了分析、比较。
关键词 离子束辅助沉积 光学薄膜 端部霍尔等离子体 离子源 工作原理 束流密度
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头盔式双目微光夜视仪研制 被引量:9
2
作者 高明 强西林 +1 位作者 智利 高丽 《西安工业学院学报》 2001年第4期300-304,共5页
头盔式双目微光夜视仪主要用于飞行员在低照度的夜间观察目标 .设计了头盔式双目微光夜视仪的光学系统与结构 ,通过对试制的样机测试 。
关键词 飞行员夜间成像系统 光学设计 头盔式双目微光夜视仪
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大视场双远心工业镜头光学系统设计 被引量:10
3
作者 智利 刘雨昭 +2 位作者 费芒芒 成国贤 王栋 《西安工业大学学报》 CAS 2018年第5期444-450,共7页
为解决某航空异型零件的检测问题,文中以反远距系统为初始结构,运用光学设计软件ZEMAX设计了一款小畸变、高分辨率、大视场及结构简单的双远心物镜.系统采用近似对称结构自动校正垂轴像差,通过厚透镜校正场曲,利用薄透镜弯曲校正球差,... 为解决某航空异型零件的检测问题,文中以反远距系统为初始结构,运用光学设计软件ZEMAX设计了一款小畸变、高分辨率、大视场及结构简单的双远心物镜.系统采用近似对称结构自动校正垂轴像差,通过厚透镜校正场曲,利用薄透镜弯曲校正球差,改变两块厚透镜之间的距离校正像散,对光学系统进行了优化,以点列图、场曲畸变图等像差曲线及调制传递函数(MTF)曲线等为依据对镜头成像质量进行了评价.结果表明:设计的双远心工业镜头由7片透镜组成,在工作距离为100mm,F数为8,设计波长为可见波长,物方线视场为60mm,2/3inch CCD (8.8mm×6.6mm)为接收器件的条件下得到了放大倍率β为-0.18,畸变小于0.1%,远心度优于0.12°,调制传递函数(MTF)曲线在空间频率为60lp·mm^(-1)时,MTF值皆大于0.55的双远心光学系统,满足了系统设计要求. 展开更多
关键词 双远心光路 远心度 光学系统设计 ZEMAX 像差
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基于CCD采集的Mach-Zehnder干涉条纹图的处理算法 被引量:9
4
作者 杨利红 施浣芳 +1 位作者 智利 方勇 《应用光学》 CAS CSCD 2005年第2期40-42,共3页
 Mach-Zehnder干涉仪适用于研究气体密度迅速变化的状态。由于气体折射率的变化与其密度的变化成正比,而折射率的变化将使通过气体的光线有不同的光程,因此可通过干涉臂变化对干涉条纹图像效果的影响得到气体密度。实测中,采用图像采...  Mach-Zehnder干涉仪适用于研究气体密度迅速变化的状态。由于气体折射率的变化与其密度的变化成正比,而折射率的变化将使通过气体的光线有不同的光程,因此可通过干涉臂变化对干涉条纹图像效果的影响得到气体密度。实测中,采用图像采集卡和CCD来接收Mach-Zehnder干涉仪产生的条纹图像,再通过计算机对条纹图像的条纹间距进行处理,从而得到气体密度的变化状态。从光干涉理论出发,对Mach-Zehnder干涉条纹图像特征进行了分析,建立了Mach-Zehnder干涉条纹的数学模型,并根据此模型设计了处理Mach-Zehnder干涉条纹图像的算法。算法包括图像的预处理(即图像的噪声提取)、图像的二值化及图像的细化。 展开更多
关键词 干涉条纹图 图像采集卡 CCD 接收 算法 折射率 气体密度 二值化 计算机 细化
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“问题驱动”自主实验教学模式的探讨 被引量:9
5
作者 智利 杨利红 白润冰 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2020年第7期10-14,共5页
针对当前实验教学中学生主动性和探究性不强这一主要问题,提出了"问题驱动"自主实验教学模式,即在实验教学中以问题为导向,学生通过查阅资料,分析问题提出解决问题的技术途径,自主设计实验,并依据拟定实验步骤自主完成实验。... 针对当前实验教学中学生主动性和探究性不强这一主要问题,提出了"问题驱动"自主实验教学模式,即在实验教学中以问题为导向,学生通过查阅资料,分析问题提出解决问题的技术途径,自主设计实验,并依据拟定实验步骤自主完成实验。该教学模式将授课教师设计实验转变为学生自主设计,改变了以教师为中心的"教"与"学"关系,能够培养学生自主学习、自主实验、自主探究、自主创新的能力。 展开更多
关键词 实验教学模式 问题驱动 自主实验 自主学习
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基于LabVIEW的角分辨空间激光散射测量系统 被引量:8
6
作者 王璐璐 高爱华 +2 位作者 刘卫国 闫丽荣 智利 《光学与光电技术》 2018年第3期40-45,共6页
设计了一种基于虚拟仪器技术的角分辨空间激光散射测量系统。以双向反射分布函数(BRDF)作为理论基础,采用虚拟仪器技术对空间激光散射测量系统进行编程,实现了对测量系统的运动控制,散射光实时采集、处理、显示、数据保存等功能。系统... 设计了一种基于虚拟仪器技术的角分辨空间激光散射测量系统。以双向反射分布函数(BRDF)作为理论基础,采用虚拟仪器技术对空间激光散射测量系统进行编程,实现了对测量系统的运动控制,散射光实时采集、处理、显示、数据保存等功能。系统采用相关检测技术进行信号处理,抑制系统背景噪声,以直线型划痕为例进行实验,当入射光投影与划痕在不同夹角时,探测器以光学元件为中心做圆周运动,以测量不同圆周上的散射光,实现双向反射分布函数(BRDF)测量。该系统空间方位角测量范围为0°~360°,角分辨率为0.1°,系统动态范围可达1011量级。测量结果表明该系统具有很好的重复性和稳定性,对实验结果进行分析可得粗划痕散射率大于细划痕,前向散射大于背向散射。 展开更多
关键词 虚拟仪器 角分辨空间激光散射 双向反射分布函数 运动控制 数据采集
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基于机器视觉的高精密轴承在线检测 被引量:8
7
作者 苏俊宏 刘胜利 +1 位作者 杨利红 智利 《光学与光电技术》 2013年第6期60-64,共5页
高精密轴承是一种圆柱型零件,针对圆柱型零件高曲率表面缺陷及外形尺寸不能同时进行在线检测的问题,设计并实现了基于机器视觉的在线检测系统。检测时,为了解决金属件表面反光的问题,设计了专用的光源系统和照明方式,通过光学系统和机... 高精密轴承是一种圆柱型零件,针对圆柱型零件高曲率表面缺陷及外形尺寸不能同时进行在线检测的问题,设计并实现了基于机器视觉的在线检测系统。检测时,为了解决金属件表面反光的问题,设计了专用的光源系统和照明方式,通过光学系统和机械旋转平台的配合,圆柱型零件在旋转的过程中被光学系统成像,从而可以采集到完整的圆柱面图像;经过快速的图像处理技术,可以检测到微米级的轴承表面缺陷及外形尺寸。检测结果表明系统具有高效率、精度高、易于使用等特点,可有效解决高精密轴承表面缺陷及尺寸在线检测的问题。 展开更多
关键词 机器视觉 表面缺陷 在线检测 图像处理
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基于改进YOLOv5轻量化坦克目标检测算法 被引量:3
8
作者 梅礼坤 智利 李栋琪 《激光杂志》 CAS 北大核心 2024年第3期59-67,共9页
深度学习技术可显著提高军事作战中坦克目标识别的准确率和速度,减少误判和漏检,从而降低人员伤亡和战争损失。为了解决大型、复杂、耗时的模型可能会受限于计算资源、存储和能耗等方面的问题,提出了一种基于YOLOv5轻量化目标检测器。通... 深度学习技术可显著提高军事作战中坦克目标识别的准确率和速度,减少误判和漏检,从而降低人员伤亡和战争损失。为了解决大型、复杂、耗时的模型可能会受限于计算资源、存储和能耗等方面的问题,提出了一种基于YOLOv5轻量化目标检测器。通过C2f based on attention mechanism模块丰富梯度流信息并进一步加速运算;Lead Head与Aux Head的有机结合平衡正负样本提高模型对遮挡小坦克目标识别漏检的能力;利用FasterNet作为特征提取网络,解决了参数量大、算力要求高的问题。实验结果表明:相较于原始YOLOv5,改进后的模型Map0.5、mAP0.5:0.95分别提高了1.2%和4.2%,参数量、GFLOPs以及Best.pt分别降低了32.3%、27.59%和26.01%。改进后的YOLOv5模型可以非常快速精准识别坦克目标,通过模型的轻量化使其更容易在移动端和嵌入式设备上部署。 展开更多
关键词 资源受限 轻量化 梯度流
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树莓派3B+导盲系统设计与实现 被引量:7
9
作者 智利 +2 位作者 李庞跃 牛恒 周泉 《西安工业大学学报》 CAS 2020年第3期305-309,共5页
针对传统导盲设备体积过大不易携带,避障手段单一等问题,本文提出一种基于树莓派的便携式导盲系统。文中以树莓派3B+为主体,搭载Raspbian系统,设计并实现了避障模块软硬件,利用超声波模块和图像处理模块识别并处理障碍物信息,最终将避... 针对传统导盲设备体积过大不易携带,避障手段单一等问题,本文提出一种基于树莓派的便携式导盲系统。文中以树莓派3B+为主体,搭载Raspbian系统,设计并实现了避障模块软硬件,利用超声波模块和图像处理模块识别并处理障碍物信息,最终将避障信息以语音形式播报。在某高校内不同场景进行多组测试,测试结果表明:本文设计的超声波模块可以识别前方0.02~3.5m处障碍物的距离信息,图像处理模块应用卷积神经网络对道路场景识别的正确率为89%,识别单幅场景图象所需时间平均为10.6s。文中系统在校园和小区等结构化道路上可以为盲人提供避障信息,在保障盲人安全出行方面具有一定的实际意义。 展开更多
关键词 导盲 树莓派 卷积神经网络 超声波
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基于改进YOLOv5的坦克目标检测算法 被引量:3
10
作者 梅礼坤 智利 牛恒 《激光杂志》 CAS 北大核心 2024年第1期92-98,共7页
坦克目标的准确识别定位是信息化战争中一项重要研究,针对传统检测算法抗干扰性差、难应用于大视野复杂环境下的问题,提出了一种基于改进YOLOv5坦克自动识别的检测算法。利用YOLOv5模型对大视野复杂战场环境下坦克目标进行识别:在YOLOv... 坦克目标的准确识别定位是信息化战争中一项重要研究,针对传统检测算法抗干扰性差、难应用于大视野复杂环境下的问题,提出了一种基于改进YOLOv5坦克自动识别的检测算法。利用YOLOv5模型对大视野复杂战场环境下坦克目标进行识别:在YOLOv5基础模型中引入Attention-based information fusion模块,提高模型检测精度和识别能力;使用Pre-segment multi-scale fusion模块解决骨干网络中池化操作所造成的信息丢失问题;使用Swin Transformer机制降低小目标坦克漏检误检的问题。在坦克数据集上进行实验,结果表明:与YOLOv5原始模型相比,改进模型的召回率、平均精度分别提高了9.1%、5.1%。改进后的YOLOv5模型可以很好地对大视野复杂环境下坦克目标进行精确识别,改善了坦克目标检测中小目标漏检的问题。 展开更多
关键词 大视野 深度学习 坦克目标识别 YOLOv5
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不同离子束参数诱导单晶硅纳米微结构与光学性能 被引量:6
11
作者 智利 刘卫国 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第9期2490-2495,共6页
使用微波回旋共振离子源,研究了低能Ar+离子束正入射时不同离子柬能量和束流密度对单晶硅(100)表面的刻蚀效果及光学性能。结果表明,当离子柬能量为1000eV,束流密度为88-310μA/cm2时,样品表面出现自组装纳米点状结构,且随着... 使用微波回旋共振离子源,研究了低能Ar+离子束正入射时不同离子柬能量和束流密度对单晶硅(100)表面的刻蚀效果及光学性能。结果表明,当离子柬能量为1000eV,束流密度为88-310μA/cm2时,样品表面出现自组装纳米点状结构,且随着离子柬流密度增加排列紧密而有序;粗糙度呈现先减小后迅速增大的趋势,在160~A/cm2附近达到极小值;刻蚀后,近红外波段内平均透过率由53%提高到57%以上,且随着纳米自组装结构有序性的提高而增大。当束流密度为270μA/cm2,能量为500~l500eV时。样品表面出现纳米点状结构,且随着离子束能量的增加趋于密集有序;粗糙度呈现先缓慢增加,在l100ev附近达到极大值,之后粗糙度迅速下降;刻蚀后样品透过率明显提高,且平均透过率随着点状结构有序性的提高而增大;刻蚀速率与离子束能量的平方成正比。自组织纳米结构的转变是溅射粗糙化和表面驰豫机制相互作用的结果。 展开更多
关键词 低能离子束刻蚀 自组织纳米结构 表面形貌 表面粗糙度(RMS) 光学透过率
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ZnS离子束抛光过程中的粗糙度演变 被引量:6
12
作者 武磊 刘卫国 +3 位作者 蔡长龙 智利 周顺 郭延 《西安工业大学学报》 CAS 2014年第12期947-952,共6页
为了得到离子束抛光ZnS的工艺参数,采用微波离子源作为抛光源,分析了离子束能量、离子束流大小、离子束入射角度对ZnS刻蚀速率及表面粗糙度的影响,比较了ZnS刻蚀速率及表面粗糙度的变化趋势.研究结果表明:当离子束能量为400eV、离子束... 为了得到离子束抛光ZnS的工艺参数,采用微波离子源作为抛光源,分析了离子束能量、离子束流大小、离子束入射角度对ZnS刻蚀速率及表面粗糙度的影响,比较了ZnS刻蚀速率及表面粗糙度的变化趋势.研究结果表明:当离子束能量为400eV、离子束流大小为35mA、入射角度为45°时,ZnS表面粗糙度降低了0.23nm. 展开更多
关键词 微波离子源 离子束抛光 刻蚀机理 刻蚀速率 表面粗糙度
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低能离子束诱导蓝宝石自组织纳米结构与光学性能研究 被引量:6
13
作者 智利 刘卫国 杨利红 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期205-211,共7页
针对蓝宝石有序纳米结构的制备,使用微波回旋共振离子源,研究了低能Ar+离子束在不同参数下刻蚀蓝宝石(C向)表面形成的自组织纳米结构及其光学性能。结果表明,当离子束入射能量为1200 e V、束流密度为265μA/cm2时,随着入射角度的增大... 针对蓝宝石有序纳米结构的制备,使用微波回旋共振离子源,研究了低能Ar+离子束在不同参数下刻蚀蓝宝石(C向)表面形成的自组织纳米结构及其光学性能。结果表明,当离子束入射能量为1200 e V、束流密度为265μA/cm2时,随着入射角度的增大(5°~40°),样品表面出现点状自组织纳米结构,该结构的有序性较差;当增加角度到45°时,样品表面出现了有序的条纹结构,在45°~70°时,增大离子束入射角度,样品表面沿离子束入射方向出现柱状结构,而在垂直于离子束入射方向,样品表面呈现出有序的条纹结构;随着离子束入射角度的增加,样品表面的纳米条纹结构的特征波长先减小(45°~60°)后逐渐增大(60°~70°),在60°附近,特征波长达到极小值,约为21.1 nm。在70°~75°时,样品表面呈现纵横比较大的纳米点状结构。增加离子束的作用时间,样品表面的纳米结构纵向尺寸增大,有序性增加,但纳米结构横向周期基本不变。有序纳米结构的出现使得样品的透射率得到提升。自组织结构变化是溅射粗糙化和表面驰豫机制相互作用的结果。 展开更多
关键词 材料 自组织纳米结构 低能离子束刻蚀 蓝宝石 表面形貌
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基于WLI原理K9基片的亚表层损伤检测 被引量:3
14
作者 庞云霞 杭凌侠 +1 位作者 智利 马保吉 《应用光学》 CAS CSCD 2007年第6期773-777,共5页
在现代激光技术的应用发展中,光学元件在其制造过程中形成的亚表层损伤是导致激光损伤的主要根源之一。光学元件亚表层的检测方法已成为光学加工领域的一个新的热点问题。利用非接触式白光干涉原理对K 9基片进行亚表层损伤检测,获得基... 在现代激光技术的应用发展中,光学元件在其制造过程中形成的亚表层损伤是导致激光损伤的主要根源之一。光学元件亚表层的检测方法已成为光学加工领域的一个新的热点问题。利用非接触式白光干涉原理对K 9基片进行亚表层损伤检测,获得基片表面至亚表面200μm深的三维立体图和纵向截切图,并精确地确定其亚表层损伤深度,以及在不同深度范围内的损伤密度。该方法与现阶段国内常用的亚表层损伤检测方法相比,具有非破坏性、纵向检测结果精确、检测过程简单快捷等特点。 展开更多
关键词 K9基片 亚表层损伤 非破坏性检测 白光干涉原理
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基于图像感知与定位匹配的多功能导盲系统 被引量:5
15
作者 牛恒 智利 +1 位作者 张文婧 宋庚庚 《自动化与仪表》 2021年第10期33-37,共5页
鉴于当前导盲系统功能单一、安全性不强等问题,设计了一种基于图像感知与定位匹配的探障、避障、导航、语音交互为一体的多功能导盲系统。利用GPS/BD双模定位模块交互百度平台导航信息进行实时导航引导盲人前往目的地。对于导航过程中... 鉴于当前导盲系统功能单一、安全性不强等问题,设计了一种基于图像感知与定位匹配的探障、避障、导航、语音交互为一体的多功能导盲系统。利用GPS/BD双模定位模块交互百度平台导航信息进行实时导航引导盲人前往目的地。对于导航过程中遇到的障碍,在较大范围内利用图像来探测障碍类型并通过A*算法进行避让路径的规划,并结合超声波、红外对周围小范围障碍进行探测,进一步保证盲人安全。进行软硬件设计及测试,该系统在遇到障碍物时能够合理规划避障路径,同时根据实时定位信息为盲人提供全程导航,语音形式的交互方式更加方便盲人获取信息。该系统能够快速处理大量的外界信息,为盲人的安全出行提供保障,在智能导盲领域有着广泛的应用前景。 展开更多
关键词 导盲系统 树莓派 传感器 避障 路径规划 导航
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环带旋转式磁流变抛光头设计 被引量:5
16
作者 阳志强 郭忠达 +1 位作者 智利 刘卫国 《机械设计与制造》 北大核心 2009年第10期56-57,共2页
在磁流变抛光技术中,磁流变抛光头是实现光学零件表面均匀去除的保证。根据实际磁流变加工要求设计了一种环带旋转式磁流变抛光头,并采用有限元分析软件ANSYS进行仿真了该抛光头,同时分析了其磁场强度分布情况。最后应用该磁流变抛光头... 在磁流变抛光技术中,磁流变抛光头是实现光学零件表面均匀去除的保证。根据实际磁流变加工要求设计了一种环带旋转式磁流变抛光头,并采用有限元分析软件ANSYS进行仿真了该抛光头,同时分析了其磁场强度分布情况。最后应用该磁流变抛光头进行了工艺实验,实验结果表明采用该抛光头能够实现高精度面形质量的光学零件加工。 展开更多
关键词 磁流变抛光 环带抛光头 面形 均匀去除
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基于改进YOLOv7的反无人机目标识别技术的研究 被引量:1
17
作者 梅礼坤 智利 李栋琦 《激光杂志》 CAS 北大核心 2024年第2期63-71,共9页
无人机的广泛应用和军事化给国家和社会安全带来了及其严重的危害,针对传统反无人机系统设备在民事部署方面存在立法瓶颈,而且缺乏多无人机目标同时检测和识别机制的问题,提出了一种基于YOLOv7的无人机目标识别技术。利用YOLOv7网络对... 无人机的广泛应用和军事化给国家和社会安全带来了及其严重的危害,针对传统反无人机系统设备在民事部署方面存在立法瓶颈,而且缺乏多无人机目标同时检测和识别机制的问题,提出了一种基于YOLOv7的无人机目标识别技术。利用YOLOv7网络对高空多场景下无人机目标进行识别:在YOLOv7中引入Feature reuse based on concatenation模块,解决backbone部分特征重用有限和深度网络信息丢失的问题;使用ELAN of attention mechanism模块提高特征融合时去除噪声和抑制不相关信息的能力;利用HEAD of expansive convolution and residual theory模块降低小目标无人机漏检的问题。在同一参数和数据集下进行训练,结果表明:与YOLOv7原始模型相比,改进模型的mAP@0.5提高了2.8%,解决了原始网络针对细小目标漏检的问题,弥补了反无人机在民事应用中的不足。 展开更多
关键词 特征复用 自适应机制 细小目标
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低能离子束诱导单晶硅点状纳米结构与光学性能研究 被引量:5
18
作者 智利 刘卫国 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期237-242,共6页
使用微波回旋共振离子源,研究了低能Ar+束在不同入射角度下对旋转单晶硅(100)表面的刻蚀效果及其光学性能。结果表明:样品旋转、离子束能量为1000eV、束流密度为265μA/cm2、刻蚀时间为60min时,在不同入射角度下,刻蚀后的样品表面可形... 使用微波回旋共振离子源,研究了低能Ar+束在不同入射角度下对旋转单晶硅(100)表面的刻蚀效果及其光学性能。结果表明:样品旋转、离子束能量为1000eV、束流密度为265μA/cm2、刻蚀时间为60min时,在不同入射角度下,刻蚀后的样品表面可形成均匀的自组装点状结构。入射角度为0°~25°时,随着角度增加,样品表面粗糙度增大,点状结构有序性更强,光学透射率提高;继续增加入射角度,样品表面粗糙度及点状结构尺寸开始减小,光学透射率降低;增加入射角度到45$时,自组装点状结构消失,粗糙度和平均光学透射率达到最小值分别为0.83nm和55.05%;进一步增加入射角度,样品表面再次出现自组织装点状结构,表面粗糙度急剧增大,入射角度在65$时,平均光学透射率达到极大值64.59%;此后,随着离子束入射角度的增加,表面粗糙度缓慢减小,光学透射率降低。自组织结构变化是溅射粗糙化和表面弛豫机制相互作用的结果。 展开更多
关键词 表面光学 微纳米制造技术 自组织纳米结构 低能离子束刻蚀 表面形貌 光学透射率
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一种新的气囊式抛光方法的研究 被引量:4
19
作者 智利 杭凌侠 张峰 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期121-124,131,共5页
针对气囊式小磨头抛光方法的缺陷,提出了一种新的气囊式抛光方法。本文对该气囊式抛光法的原理和抛光气囊的结构、运动方式等进行了阐述。在此基础上,结合装置开展了实验,给出了去除量、压力、粗糙度与时间的关系。研究结果表明,利用该... 针对气囊式小磨头抛光方法的缺陷,提出了一种新的气囊式抛光方法。本文对该气囊式抛光法的原理和抛光气囊的结构、运动方式等进行了阐述。在此基础上,结合装置开展了实验,给出了去除量、压力、粗糙度与时间的关系。研究结果表明,利用该气囊式抛光方法对非球面光学零件进行抛光,效果良好,表面粗糙度可达2nm,该方法能满足中高等精度的加工要求;该方法适合平面、球面、非球面、甚至任意曲面的抛光。 展开更多
关键词 气囊式抛光法 非球面加工 表面粗糙度
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低能Kr^+离子束诱导蓝宝石晶体实验研究 被引量:6
20
作者 费芒芒 智利 +2 位作者 刘卫国 刘雨昭 惠迎雪 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期137-142,共6页
使用微波回旋共振离子源制备蓝宝石(A向)自组织纳米结构,研究不同入射角度下Kr+离子束刻蚀蓝宝石表面形成的自组织纳米结构及其形成过程.采用等离子体与离子束刻蚀设备在不同入射角度下对蓝宝石样品表面进行刻蚀并通过Taylor Surf CCI2... 使用微波回旋共振离子源制备蓝宝石(A向)自组织纳米结构,研究不同入射角度下Kr+离子束刻蚀蓝宝石表面形成的自组织纳米结构及其形成过程.采用等离子体与离子束刻蚀设备在不同入射角度下对蓝宝石样品表面进行刻蚀并通过Taylor Surf CCI2000非接触式表面测量仪和原子力显微镜分别对刻蚀后的蓝宝石样品的刻蚀速率及表面形貌进行分析.研究表明:当离子束能量为400eV,加速电压为200V,离子束流密度为310μA/cm^2时,小角度入射下,蓝宝石样品表面出现纵向尺度较小的有序点状纳米结构;随着入射角度的增加,样品表面形成条纹状纳米结构,30°时形成短程有序且纵横比为0.87的条纹状结构;入射角度继续增加,纵向高度减小直至纳米结构消失;当角度达到60°附近,蓝宝石表面又出现条纹状结构,70°时形成了短程有序且纵横比为1.07的条纹状结构.自组织纳米结构的形成先以"岛状"形式出现,随后岛上生长出条纹状纳米结构,随着刻蚀时间的增加,岛状条纹结构纵向尺度增大且有序性增强,纳米结构的横向周期不变. 展开更多
关键词 低能Kr^+离子束 自组织纳米结构 条纹状纳米结构 蓝宝石 表面形貌 刻蚀速率 原子力显微镜
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