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自交联水溶性丙烯酸树脂及柔性版四色套印水性油墨的研究
被引量:
16
1
作者
汤建新
陈洪
+1 位作者
聂立波
何农跃
《东南大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期68-71,共4页
以偶氮二异丁腈为引发剂 ,用N ,N 二甲基乙醇胺为中和剂 ,将甲基丙烯酸甲酯 (或苯乙烯 )、丙烯酸丁酯、丙烯酸和N 羟甲基丙烯酰胺四元单体共聚反应、合成了适用于柔性版四色套印水性油墨的分散树脂和成膜树脂 ,用上述制备的树脂为连接...
以偶氮二异丁腈为引发剂 ,用N ,N 二甲基乙醇胺为中和剂 ,将甲基丙烯酸甲酯 (或苯乙烯 )、丙烯酸丁酯、丙烯酸和N 羟甲基丙烯酰胺四元单体共聚反应、合成了适用于柔性版四色套印水性油墨的分散树脂和成膜树脂 ,用上述制备的树脂为连接料 ,开发了一组三原色加黑色的四色套印的水性油墨 ,通过对树脂和油墨的各项指标进行检测 ,结果表明 :树脂和水性油墨的各项性能符合国家标准 ,重金属含量经香港SGS检测符合美国州际立法标准 。
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关键词
自交联
水溶性
丙烯酸
树脂
柔性版
四色套印
水性油墨
四元共聚物
分散
树脂
成膜
树脂
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职称材料
电磁屏蔽铜系复合导电涂料实验研究
被引量:
10
2
作者
施冬梅
杜仕国
+1 位作者
田春雷
邓辉
《军械工程学院学报》
2001年第4期71-73,共3页
研究了成膜树脂、铜粉含量和偶联剂含量对涂料导电性能的影响.研究结果表明:铜粉含量为60%、偶联剂含量为3%时,体系导电性能较好.
关键词
电磁屏蔽
导电涂料
成膜
树脂
铜粉含量
偶联剂含量
导电性能
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职称材料
纸品上光油研究进展
被引量:
7
3
作者
郭效杰
杨辉荣
《广东化工》
CAS
2002年第5期48-49,共2页
本文回顾了近几年来国内外上光油的研究进展,并指出水性和UV上光油是今后的发展方向。
关键词
纸品上光油
水性涂料
UVCC
进展
成膜
树脂
溶剂
助剂
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职称材料
阳图PS版感光胶的成膜树脂技术(上)
被引量:
9
4
作者
余尚先
顾江楠
童晓
《印刷杂志》
1998年第9期29-31,共3页
进入九十年代,我国PS版的生产能力和市场需求量迅速增长。1997年全国PS版较大生产厂约32家,生产能力约为5000万M^2。从八十年代末期算起,我国PS版的生产能力与市场投放量几乎都是每二年翻一番。国内外同行预言,到2000年。
关键词
阳图PS版
成膜
树脂
感光胶
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职称材料
光刻胶成膜树脂的研究进展
被引量:
9
5
作者
冯波
艾照全
+1 位作者
朱超
宋梦瑶
《粘接》
CAS
2015年第2期78-81,86,共5页
光刻胶是集成电路和分立器件的基础工艺材料,主体成膜树脂是光刻胶的重要组分之一,不同的成膜树脂对光刻胶的性能有不同影响。主要综述了光刻胶的分类,影响光刻胶成膜树脂性能的因素,成膜树脂的发展,及光刻胶的主要技术参数。
关键词
光刻胶
单体
成膜
树脂
光敏度
化学放大光刻胶
有效含碳量
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职称材料
一种248nm光刻胶成膜树脂的合成及相关性能研究
被引量:
8
6
作者
刘建国
蒋明
曾晓雁
《影像科学与光化学》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第5期349-360,共12页
通过自由基共聚合,制备了前驱体共聚物聚对特丁氧酰氧基苯乙烯-共-N-羟基-5-降冰片烯-2,3-二甲酰亚胺甲基丙烯酸酯,该共聚物可以通过热解而部分脱除酚羟基上的保护基,得到目标共聚物聚对羟基苯乙烯-共-N-羟基-5-降冰片烯-2,3-二甲酰亚...
通过自由基共聚合,制备了前驱体共聚物聚对特丁氧酰氧基苯乙烯-共-N-羟基-5-降冰片烯-2,3-二甲酰亚胺甲基丙烯酸酯,该共聚物可以通过热解而部分脱除酚羟基上的保护基,得到目标共聚物聚对羟基苯乙烯-共-N-羟基-5-降冰片烯-2,3-二甲酰亚胺甲基丙烯酸酯-共-对特丁氧酰氧基苯乙烯.通过对具有合适分子量的目标共聚物的有机溶剂溶解性、热性能、成膜性、抗干蚀刻能力和在248nm处光学吸收(为0.212μm-1)性能进行研究,表明该聚合物能满足248nm光刻胶成膜树脂的要求;此外,目标共聚物还具有酸致脱保性能.具有合适分子量和脱保率的目标共聚物,通过对其酸解留膜率的测试,推测其可能满足248nm光刻胶的曝光显影工艺过程.
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关键词
248
nm光刻胶
成膜
树脂
聚对羟基苯乙烯-共-N-羟基-5-降冰片烯-2
3-二甲酰亚胺甲基丙烯酸酯-共-对特丁氧酰氧基苯乙烯
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职称材料
我国光刻胶的市场现状及发展趋势
被引量:
7
7
作者
郑金红
《精细与专用化学品》
CAS
2009年第9期28-31,共4页
现代微电子技术按照摩尔定律在不断发展.光刻技术也经历了从G线(436nm),I线(365nm),到深紫外248nm.及目前的193nm光刻的发展历程.相对应于各曝光波长的光刻胶也应运而生.光刻胶中的关键组分,如成膜树脂、感光剂、添加剂也随...
现代微电子技术按照摩尔定律在不断发展.光刻技术也经历了从G线(436nm),I线(365nm),到深紫外248nm.及目前的193nm光刻的发展历程.相对应于各曝光波长的光刻胶也应运而生.光刻胶中的关键组分,如成膜树脂、感光剂、添加剂也随之发生变化.使光刻胶的综合性能能更好地满足集成工艺制程要求。目前集成电路制作中使用的主要光刻胶见表1。
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关键词
光刻胶
发展趋势
市场现状
193nm光刻
微电子技术
光刻技术
摩尔定律
成膜
树脂
原文传递
吸水性对防污涂料性能影响的研究
被引量:
6
8
作者
张霁
王健
+1 位作者
Erik Risberg
Harald Boen
《中国涂料》
CAS
2013年第4期30-34,共5页
由于中国的许多船厂位于淡水流域,淡水浸泡对防污涂料的影响正引起人们越来越多的关注。本研究中,选取了4种基于丙烯酸硅烷技术和6种基于离子交换技术的防污涂料,比较了在海水和淡水里的吸水性能。为了便于确定成膜树脂与相应涂料吸水...
由于中国的许多船厂位于淡水流域,淡水浸泡对防污涂料的影响正引起人们越来越多的关注。本研究中,选取了4种基于丙烯酸硅烷技术和6种基于离子交换技术的防污涂料,比较了在海水和淡水里的吸水性能。为了便于确定成膜树脂与相应涂料吸水性能之间的相关性,将成膜树脂从涂料中分离出来进行研究。
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关键词
防污涂料
成膜
树脂
吸水性
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职称材料
甲基丙烯酸酯类光刻胶成膜树脂的合成与性能研究
被引量:
6
9
作者
何姣
郭文迅
+1 位作者
彭荡
贺倩
《应用化工》
CAS
CSCD
2011年第2期210-214,共5页
以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、丙烯酸丁酯(BA)为单体,偶氮二异丁腈为引发剂,采用溶液自由基聚合方法,合成了甲基丙烯酸酯类光刻胶成膜树脂,研究了合成工艺对产物分子量及分子量分布的影响,并对其在光刻胶中的应用性能...
以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、丙烯酸丁酯(BA)为单体,偶氮二异丁腈为引发剂,采用溶液自由基聚合方法,合成了甲基丙烯酸酯类光刻胶成膜树脂,研究了合成工艺对产物分子量及分子量分布的影响,并对其在光刻胶中的应用性能,如碱溶性、涂膜表面干燥性、感度和分辨率等进行了初步考察。结果表明,在引发剂用量为单体用量的0.6%~1%、反应温度80~85℃、3次进料条件下,制得的聚合物的重均分子量为44 341~53 696,分子量分布为3.66~5.69,由单体质量比MAA∶MMA∶BA为25∶50∶25的成膜树脂配制的光刻胶,分辨率达35μm。
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关键词
光刻胶
成膜
树脂
甲基丙烯酸酯
碱溶性
分辨率
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职称材料
水包水多彩涂料的研究进展
被引量:
6
10
作者
李国梁
叶仙华
+1 位作者
乔永洛
申亮
《江西科技师范大学学报》
2014年第6期13-17,共5页
水包水多彩涂料具有环保无毒、仿真性高、抗裂性好、耐候性高、施工快、性价比高、轻质材料等优点,被广泛应用于建筑内外墙、饰面板等领域,并具有广阔的应用前景,已经成为近几年研究的热点。本文主要介绍水包水多彩涂料所用保护胶体系...
水包水多彩涂料具有环保无毒、仿真性高、抗裂性好、耐候性高、施工快、性价比高、轻质材料等优点,被广泛应用于建筑内外墙、饰面板等领域,并具有广阔的应用前景,已经成为近几年研究的热点。本文主要介绍水包水多彩涂料所用保护胶体系、成膜物质、各种助剂;最后对水包水多彩涂料的发展进行了展望。
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关键词
水包水多彩涂料
凝胶体系
成膜
树脂
彩粒
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职称材料
船舶防污涂料的研究现状及展望
被引量:
5
11
作者
陆刚
余红伟
+1 位作者
晏欣
魏徵
《弹性体》
CAS
2016年第4期74-77,共4页
阐述了船舶在海洋中所受到海洋污损物污染的情况,介绍了常用防污涂料的研究近况,并针对其防污的缺陷提出了长效型防污涂料的研究和发展方向。
关键词
海洋污损物
防污涂料
环氧
树脂
成膜
树脂
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职称材料
阴图感光PS版进展(下)
被引量:
4
12
作者
邝良菊
邹应全
《信息记录材料》
2007年第6期44-49,共6页
本文主要介绍了阴图PS版的2种重要组成部分:感光树脂和成膜树脂,同时简要说明了紫激光CTP的最新发展情况。关于感光树脂,主要介绍了其发展历史和感光机理,并重点阐述了重氮树脂的特点和合成方法;成膜树脂,主要介绍了聚乙烯醇缩醛,聚氨...
本文主要介绍了阴图PS版的2种重要组成部分:感光树脂和成膜树脂,同时简要说明了紫激光CTP的最新发展情况。关于感光树脂,主要介绍了其发展历史和感光机理,并重点阐述了重氮树脂的特点和合成方法;成膜树脂,主要介绍了聚乙烯醇缩醛,聚氨基甲酸酯,聚(甲基)丙烯酸(酯)及其衍生物。
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关键词
阴图PS版
UV—CTP
感光
树脂
重氮
树脂
成膜
树脂
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职称材料
光刻胶及其成膜树脂的研究现状
被引量:
5
13
作者
王全勇
宋斌
麦裕良
《广东化工》
CAS
2020年第14期76-77,共2页
光刻胶是微电子技术领域的关键基础材料,成膜树脂是其重要组成部分,本文概述了光刻胶及其成膜树脂的国内外研究状况。
关键词
光刻技术
光刻胶
成膜
树脂
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职称材料
化学增幅型光刻胶材料研究进展
被引量:
5
14
作者
郑祥飞
孙小侠
+3 位作者
刘敬成
穆启道
刘仁
刘晓亚
《影像科学与光化学》
CAS
2020年第3期392-408,共17页
芯片集成度的提高促使光刻胶向高分辨率方向发展,光刻技术由紫外全谱曝光发展到单一短波长曝光,为满足光刻胶高感度、高分辨率的要求,化学增幅型光刻胶应运而生。“化学增幅”可以提高光刻胶的量子产率,增强光刻胶感度,在深紫外、极紫...
芯片集成度的提高促使光刻胶向高分辨率方向发展,光刻技术由紫外全谱曝光发展到单一短波长曝光,为满足光刻胶高感度、高分辨率的要求,化学增幅型光刻胶应运而生。“化学增幅”可以提高光刻胶的量子产率,增强光刻胶感度,在深紫外、极紫外光刻中得到广泛应用。而高性能树脂作为光刻胶的成膜剂,对光刻胶的性能有重要影响,不同的树脂结构对应不同的反应机理。本文重点对化学增幅型光刻胶中的脱保护、重排、分子内脱水、酯化缩聚、交联、解聚等反应进行了总结,并介绍了对应的树脂结构。
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关键词
化学增幅
光刻胶
感度
成膜
树脂
反应机理
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职称材料
光致抗蚀剂的制备及其性能研究
被引量:
5
15
作者
周虎
李宁
+3 位作者
蒋敏
罗小阳
唐甲林
秦先志
《印制电路信息》
2015年第9期10-13,共4页
以甲基丙烯酸甲酯(MMA)、丙烯酸丁酯(BA)、甲基丙烯酸(MAA)等为基本原料,以过氧化苯甲酰(BPO)为引发剂,分别选用无水乙醇、丁酮、乙酸乙酯为溶剂,采用溶液聚合法制备了成膜树脂;并以三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(TMPTA)为交联...
以甲基丙烯酸甲酯(MMA)、丙烯酸丁酯(BA)、甲基丙烯酸(MAA)等为基本原料,以过氧化苯甲酰(BPO)为引发剂,分别选用无水乙醇、丁酮、乙酸乙酯为溶剂,采用溶液聚合法制备了成膜树脂;并以三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(TMPTA)为交联剂,二苯甲酮(BP)为光引发剂,开发了光致抗蚀剂。研究结果表明,单体质量比MMA:BA:MAA为45:40:15时,反应生成了三元共聚物,在引发剂用量为单体用量的1%~2%、反应温度控制在(8O~85)℃的条件下,以无水乙醇作溶剂制备的成膜树脂最稳定,耐水性优于丁酮和乙酸乙酯作溶剂时制备的树脂。经紫外固化测试发现,固化时间控制在2min左右比较合适,光引发剂用量在6%左右最适宜。该研究为光致抗蚀剂进一步的研究提供了思路,具有一定的借鉴意义。
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关键词
光刻胶
电路板
成膜
树脂
紫外固化
甲基丙烯酸甲酯
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职称材料
成膜树脂对重氮萘醌体系正性光致抗蚀材料性能的影响
被引量:
4
16
作者
薛永薰
邬兰
王鹏
《感光科学与光化学》
CSCD
2000年第1期85-94,共10页
关键词
感光材料
成膜
树脂
重搂萘醌体系
抗蚀材料
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职称材料
阳图PS版感光胶的成膜树脂技术(下)
被引量:
4
17
作者
余尚先
顾江楠
童晓
《印刷杂志》
1998年第10期37-39,共3页
三、几类成膜树脂的具体讨论 1.酚类与醛类线性缩合型 这一大类型又包括二种: (1)间甲酚—甲醛树脂,如式(1)所示,因催化剂不同分为一般草酸催化型n/m≥4,和高邻位缩聚型,如Zn(AC)_2催化型n/m≤1。如通式(1)所示:
关键词
阳图PS版
感光胶
成膜
树脂
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职称材料
阴图感光PS版进展(上)
被引量:
3
18
作者
邝良菊
邹应全
《信息记录材料》
2007年第5期39-42,共4页
本文主要介绍了阴图PS版的2种重要组成部分:感光树脂和成膜树脂,同时简要说明了紫激光CTP的最新发展情况。关于感光树脂,主要介绍了其发展历史和感光机理,并重点阐述了重氮树脂的特点和合成方法;成膜树脂,主要介绍了聚乙烯醇缩醛,聚氨...
本文主要介绍了阴图PS版的2种重要组成部分:感光树脂和成膜树脂,同时简要说明了紫激光CTP的最新发展情况。关于感光树脂,主要介绍了其发展历史和感光机理,并重点阐述了重氮树脂的特点和合成方法;成膜树脂,主要介绍了聚乙烯醇缩醛,聚氨基甲酸酯,聚(甲基)丙烯酸(酯)及其衍生物。
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关键词
阴图PS版
UV—CTP
感光
树脂
重氮
树脂
成膜
树脂
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职称材料
248nm光致抗蚀剂成膜树脂研究进展
被引量:
4
19
作者
晏凯
邹应全
《信息记录材料》
2008年第2期37-43,共7页
光致抗蚀剂(photoresist)是制造超大规模集成电路的关键性材料之一,随着集成电路集成度的不断增加,光致抗蚀剂由g线(436nm)胶、i线(365nm)胶,逐渐发展到深紫外(DUV)(248nmKrF与193 nm ArF)胶。成膜树脂作为光致抗蚀剂的主要成分之一,决...
光致抗蚀剂(photoresist)是制造超大规模集成电路的关键性材料之一,随着集成电路集成度的不断增加,光致抗蚀剂由g线(436nm)胶、i线(365nm)胶,逐渐发展到深紫外(DUV)(248nmKrF与193 nm ArF)胶。成膜树脂作为光致抗蚀剂的主要成分之一,决定了抗蚀剂的主要性能,因此研究成膜树脂具有重要的意义。本文综述了248 nm KrF光致抗蚀剂成膜树脂的研究进展,重点介绍了聚对羟基苯乙烯及其衍生物,并简要介绍了其合成方法及成像机理。
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关键词
248nm光致抗蚀剂
化学增幅
成膜
树脂
聚对羟基苯乙烯
非化学增幅
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职称材料
改性氨基丙烯酸乳胶漆的研制
被引量:
4
20
作者
李江年
王德智
+1 位作者
张梅
唐林生
《涂料工业》
CAS
CSCD
2003年第6期3-6,共4页
以羟基丙烯酸水溶胶改性羟基丙烯酸乳液为成膜树脂 ,完全和部分甲醚化的三聚氰胺甲醛树脂为固化剂 ,配制高温 ( 15 0~ 15 5℃ )烘烤和中温 ( 12 5~ 13 0℃ )烘烤 2种氨基丙烯酸乳胶漆。当固化剂为成膜树脂的 8%~10 % ,颜基比 (质量...
以羟基丙烯酸水溶胶改性羟基丙烯酸乳液为成膜树脂 ,完全和部分甲醚化的三聚氰胺甲醛树脂为固化剂 ,配制高温 ( 15 0~ 15 5℃ )烘烤和中温 ( 12 5~ 13 0℃ )烘烤 2种氨基丙烯酸乳胶漆。当固化剂为成膜树脂的 8%~10 % ,颜基比 (质量比 )为 0 2 9∶1 0 0时 ,漆膜附着力均达到 1级 ;耐冲击性为 5 0cm ;硬度 >2H ,45°光泽约为 70 % ;耐温水 ( 5 0~ 5 3℃ ) 10h以上 ,遮盖力和施工性能良好。该类烘烤漆可用于对光泽要求不高的场合 ,如金属卷材。
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关键词
改性氨基丙烯酸乳胶漆
羟基丙烯酸水溶胶
改性
羟基丙烯酸乳液
成膜
树脂
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职称材料
题名
自交联水溶性丙烯酸树脂及柔性版四色套印水性油墨的研究
被引量:
16
1
作者
汤建新
陈洪
聂立波
何农跃
机构
东南大学分子与生物分子电子学教育部重点实验室
株洲工学院包装新材料与技术重点实验室
出处
《东南大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期68-71,共4页
基金
国家"九五"技术创新资助项目 ( 10 96 )
文摘
以偶氮二异丁腈为引发剂 ,用N ,N 二甲基乙醇胺为中和剂 ,将甲基丙烯酸甲酯 (或苯乙烯 )、丙烯酸丁酯、丙烯酸和N 羟甲基丙烯酰胺四元单体共聚反应、合成了适用于柔性版四色套印水性油墨的分散树脂和成膜树脂 ,用上述制备的树脂为连接料 ,开发了一组三原色加黑色的四色套印的水性油墨 ,通过对树脂和油墨的各项指标进行检测 ,结果表明 :树脂和水性油墨的各项性能符合国家标准 ,重金属含量经香港SGS检测符合美国州际立法标准 。
关键词
自交联
水溶性
丙烯酸
树脂
柔性版
四色套印
水性油墨
四元共聚物
分散
树脂
成膜
树脂
Keywords
Acrylics
Color printing
Initiators (chemical)
Ink
Polymers
分类号
TQ638 [化学工程—精细化工]
TS802.3 [轻工技术与工程]
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职称材料
题名
电磁屏蔽铜系复合导电涂料实验研究
被引量:
10
2
作者
施冬梅
杜仕国
田春雷
邓辉
机构
军械工程学院弹药工程系
出处
《军械工程学院学报》
2001年第4期71-73,共3页
基金
军械工程学院校科研和教改项目
文摘
研究了成膜树脂、铜粉含量和偶联剂含量对涂料导电性能的影响.研究结果表明:铜粉含量为60%、偶联剂含量为3%时,体系导电性能较好.
关键词
电磁屏蔽
导电涂料
成膜
树脂
铜粉含量
偶联剂含量
导电性能
分类号
TQ63 [化学工程—精细化工]
TM153.5 [电气工程—电工理论与新技术]
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职称材料
题名
纸品上光油研究进展
被引量:
7
3
作者
郭效杰
杨辉荣
机构
广东工业大学轻工化工学院
出处
《广东化工》
CAS
2002年第5期48-49,共2页
文摘
本文回顾了近几年来国内外上光油的研究进展,并指出水性和UV上光油是今后的发展方向。
关键词
纸品上光油
水性涂料
UVCC
进展
成膜
树脂
溶剂
助剂
Keywords
paper polish oil, waterborne coating, UVCC, recent advances
分类号
TQ638 [化学工程—精细化工]
下载PDF
职称材料
题名
阳图PS版感光胶的成膜树脂技术(上)
被引量:
9
4
作者
余尚先
顾江楠
童晓
机构
北京师范大学应用化学研究所
出处
《印刷杂志》
1998年第9期29-31,共3页
文摘
进入九十年代,我国PS版的生产能力和市场需求量迅速增长。1997年全国PS版较大生产厂约32家,生产能力约为5000万M^2。从八十年代末期算起,我国PS版的生产能力与市场投放量几乎都是每二年翻一番。国内外同行预言,到2000年。
关键词
阳图PS版
成膜
树脂
感光胶
分类号
TS802.6 [轻工技术与工程]
下载PDF
职称材料
题名
光刻胶成膜树脂的研究进展
被引量:
9
5
作者
冯波
艾照全
朱超
宋梦瑶
机构
有机功能分子合成与应用教育部重点实验室
出处
《粘接》
CAS
2015年第2期78-81,86,共5页
文摘
光刻胶是集成电路和分立器件的基础工艺材料,主体成膜树脂是光刻胶的重要组分之一,不同的成膜树脂对光刻胶的性能有不同影响。主要综述了光刻胶的分类,影响光刻胶成膜树脂性能的因素,成膜树脂的发展,及光刻胶的主要技术参数。
关键词
光刻胶
单体
成膜
树脂
光敏度
化学放大光刻胶
有效含碳量
Keywords
photoresisit
monomer
film-forming resin
light sensitivity
chemically amplified photoresist
effectivecarbon content
分类号
TQ577.35 [化学工程—精细化工]
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职称材料
题名
一种248nm光刻胶成膜树脂的合成及相关性能研究
被引量:
8
6
作者
刘建国
蒋明
曾晓雁
机构
华中科技大学武汉光电国家实验室 激光与太赫兹技术功能实验室
出处
《影像科学与光化学》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第5期349-360,共12页
基金
国家自然科学基金面上项目(51172081)和重点项目(51135005)
中央高校基本科研业务费资助(2013TS044)
文摘
通过自由基共聚合,制备了前驱体共聚物聚对特丁氧酰氧基苯乙烯-共-N-羟基-5-降冰片烯-2,3-二甲酰亚胺甲基丙烯酸酯,该共聚物可以通过热解而部分脱除酚羟基上的保护基,得到目标共聚物聚对羟基苯乙烯-共-N-羟基-5-降冰片烯-2,3-二甲酰亚胺甲基丙烯酸酯-共-对特丁氧酰氧基苯乙烯.通过对具有合适分子量的目标共聚物的有机溶剂溶解性、热性能、成膜性、抗干蚀刻能力和在248nm处光学吸收(为0.212μm-1)性能进行研究,表明该聚合物能满足248nm光刻胶成膜树脂的要求;此外,目标共聚物还具有酸致脱保性能.具有合适分子量和脱保率的目标共聚物,通过对其酸解留膜率的测试,推测其可能满足248nm光刻胶的曝光显影工艺过程.
关键词
248
nm光刻胶
成膜
树脂
聚对羟基苯乙烯-共-N-羟基-5-降冰片烯-2
3-二甲酰亚胺甲基丙烯酸酯-共-对特丁氧酰氧基苯乙烯
Keywords
248 nm photoresist
matrix resin
poly (p-hydroxystyrene-co-N-hydroxy-5-norbornene-2,3-dicarboximido methacrylate-co-p-tert-butoxycarbonyloxystyrene)
分类号
O631.3 [理学—高分子化学]
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职称材料
题名
我国光刻胶的市场现状及发展趋势
被引量:
7
7
作者
郑金红
机构
北京科华微电子材料有限公司
出处
《精细与专用化学品》
CAS
2009年第9期28-31,共4页
文摘
现代微电子技术按照摩尔定律在不断发展.光刻技术也经历了从G线(436nm),I线(365nm),到深紫外248nm.及目前的193nm光刻的发展历程.相对应于各曝光波长的光刻胶也应运而生.光刻胶中的关键组分,如成膜树脂、感光剂、添加剂也随之发生变化.使光刻胶的综合性能能更好地满足集成工艺制程要求。目前集成电路制作中使用的主要光刻胶见表1。
关键词
光刻胶
发展趋势
市场现状
193nm光刻
微电子技术
光刻技术
摩尔定律
成膜
树脂
Keywords
photoresist
photoresist technology
integrate circuit
photoacid generator
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
F426.7 [经济管理—产业经济]
原文传递
题名
吸水性对防污涂料性能影响的研究
被引量:
6
8
作者
张霁
王健
Erik Risberg
Harald Boen
机构
中远佐敦船舶涂料(青岛)有限公司
Chokwang Jotun Ltd.Korea
出处
《中国涂料》
CAS
2013年第4期30-34,共5页
文摘
由于中国的许多船厂位于淡水流域,淡水浸泡对防污涂料的影响正引起人们越来越多的关注。本研究中,选取了4种基于丙烯酸硅烷技术和6种基于离子交换技术的防污涂料,比较了在海水和淡水里的吸水性能。为了便于确定成膜树脂与相应涂料吸水性能之间的相关性,将成膜树脂从涂料中分离出来进行研究。
关键词
防污涂料
成膜
树脂
吸水性
Keywords
anti-fouling coatings, film forming resin, water absorption
分类号
TQ637.2 [化学工程—精细化工]
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职称材料
题名
甲基丙烯酸酯类光刻胶成膜树脂的合成与性能研究
被引量:
6
9
作者
何姣
郭文迅
彭荡
贺倩
机构
湖南大学材料科学与工程学院
出处
《应用化工》
CAS
CSCD
2011年第2期210-214,共5页
基金
国家科技部科技人员服务企业行动项目:高分辨率感光干膜的研究与产业化(2009GJD20007)
文摘
以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、丙烯酸丁酯(BA)为单体,偶氮二异丁腈为引发剂,采用溶液自由基聚合方法,合成了甲基丙烯酸酯类光刻胶成膜树脂,研究了合成工艺对产物分子量及分子量分布的影响,并对其在光刻胶中的应用性能,如碱溶性、涂膜表面干燥性、感度和分辨率等进行了初步考察。结果表明,在引发剂用量为单体用量的0.6%~1%、反应温度80~85℃、3次进料条件下,制得的聚合物的重均分子量为44 341~53 696,分子量分布为3.66~5.69,由单体质量比MAA∶MMA∶BA为25∶50∶25的成膜树脂配制的光刻胶,分辨率达35μm。
关键词
光刻胶
成膜
树脂
甲基丙烯酸酯
碱溶性
分辨率
Keywords
photoresist
matrix resin
methylacrylate
alkali-solubility
resolution
分类号
TQ572 [化学工程—精细化工]
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职称材料
题名
水包水多彩涂料的研究进展
被引量:
6
10
作者
李国梁
叶仙华
乔永洛
申亮
机构
江西科技师范大学有机功能分子研究所
出处
《江西科技师范大学学报》
2014年第6期13-17,共5页
基金
国家自然基金项目(编号:51263011)
文摘
水包水多彩涂料具有环保无毒、仿真性高、抗裂性好、耐候性高、施工快、性价比高、轻质材料等优点,被广泛应用于建筑内外墙、饰面板等领域,并具有广阔的应用前景,已经成为近几年研究的热点。本文主要介绍水包水多彩涂料所用保护胶体系、成膜物质、各种助剂;最后对水包水多彩涂料的发展进行了展望。
关键词
水包水多彩涂料
凝胶体系
成膜
树脂
彩粒
Keywords
water-in-water multicolor coating
gel system
film resin
multicolor particles
分类号
O622 [理学—有机化学]
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职称材料
题名
船舶防污涂料的研究现状及展望
被引量:
5
11
作者
陆刚
余红伟
晏欣
魏徵
机构
海军工程大学化学与材料系
出处
《弹性体》
CAS
2016年第4期74-77,共4页
文摘
阐述了船舶在海洋中所受到海洋污损物污染的情况,介绍了常用防污涂料的研究近况,并针对其防污的缺陷提出了长效型防污涂料的研究和发展方向。
关键词
海洋污损物
防污涂料
环氧
树脂
成膜
树脂
Keywords
marine fouling l antifouling coatings
epoxy resin
film-forming resin
分类号
TQ637.2 [化学工程—精细化工]
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职称材料
题名
阴图感光PS版进展(下)
被引量:
4
12
作者
邝良菊
邹应全
机构
北京师范大学化工学院
出处
《信息记录材料》
2007年第6期44-49,共6页
文摘
本文主要介绍了阴图PS版的2种重要组成部分:感光树脂和成膜树脂,同时简要说明了紫激光CTP的最新发展情况。关于感光树脂,主要介绍了其发展历史和感光机理,并重点阐述了重氮树脂的特点和合成方法;成膜树脂,主要介绍了聚乙烯醇缩醛,聚氨基甲酸酯,聚(甲基)丙烯酸(酯)及其衍生物。
关键词
阴图PS版
UV—CTP
感光
树脂
重氮
树脂
成膜
树脂
Keywords
Negative PS
UV-CTP
Photo-active-compound
Diazo resin
Binder
分类号
TS802.6 [轻工技术与工程]
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职称材料
题名
光刻胶及其成膜树脂的研究现状
被引量:
5
13
作者
王全勇
宋斌
麦裕良
机构
广东省石油与精细化工研究院广东省工业表面活性剂重点实验室
出处
《广东化工》
CAS
2020年第14期76-77,共2页
基金
广东省科学院企业工作站建设专项项目。
文摘
光刻胶是微电子技术领域的关键基础材料,成膜树脂是其重要组成部分,本文概述了光刻胶及其成膜树脂的国内外研究状况。
关键词
光刻技术
光刻胶
成膜
树脂
Keywords
Photoetching
photoresist
film-forming resin
分类号
TQ [化学工程]
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职称材料
题名
化学增幅型光刻胶材料研究进展
被引量:
5
14
作者
郑祥飞
孙小侠
刘敬成
穆启道
刘仁
刘晓亚
机构
江南大学化学与材料工程学院
苏州瑞红电子化学品有限公司
出处
《影像科学与光化学》
CAS
2020年第3期392-408,共17页
基金
江苏省研究生研究与实践创新项目(KYCX217-1434)资助。
文摘
芯片集成度的提高促使光刻胶向高分辨率方向发展,光刻技术由紫外全谱曝光发展到单一短波长曝光,为满足光刻胶高感度、高分辨率的要求,化学增幅型光刻胶应运而生。“化学增幅”可以提高光刻胶的量子产率,增强光刻胶感度,在深紫外、极紫外光刻中得到广泛应用。而高性能树脂作为光刻胶的成膜剂,对光刻胶的性能有重要影响,不同的树脂结构对应不同的反应机理。本文重点对化学增幅型光刻胶中的脱保护、重排、分子内脱水、酯化缩聚、交联、解聚等反应进行了总结,并介绍了对应的树脂结构。
关键词
化学增幅
光刻胶
感度
成膜
树脂
反应机理
Keywords
chemical amplified
photoresist
sensitivity
film-forming resin
reaction mechanism
分类号
TQ577 [化学工程—精细化工]
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职称材料
题名
光致抗蚀剂的制备及其性能研究
被引量:
5
15
作者
周虎
李宁
蒋敏
罗小阳
唐甲林
秦先志
机构
湖南科技大学化学化工学院理论有机化学与功能分子教育部重点实验室
深圳市柳鑫实业有限公司
出处
《印制电路信息》
2015年第9期10-13,共4页
基金
国家自然科学基金(1443002)
湖南省自然科学基金(14JJ013)
湖南省教育厅青年项目(14B04)
文摘
以甲基丙烯酸甲酯(MMA)、丙烯酸丁酯(BA)、甲基丙烯酸(MAA)等为基本原料,以过氧化苯甲酰(BPO)为引发剂,分别选用无水乙醇、丁酮、乙酸乙酯为溶剂,采用溶液聚合法制备了成膜树脂;并以三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(TMPTA)为交联剂,二苯甲酮(BP)为光引发剂,开发了光致抗蚀剂。研究结果表明,单体质量比MMA:BA:MAA为45:40:15时,反应生成了三元共聚物,在引发剂用量为单体用量的1%~2%、反应温度控制在(8O~85)℃的条件下,以无水乙醇作溶剂制备的成膜树脂最稳定,耐水性优于丁酮和乙酸乙酯作溶剂时制备的树脂。经紫外固化测试发现,固化时间控制在2min左右比较合适,光引发剂用量在6%左右最适宜。该研究为光致抗蚀剂进一步的研究提供了思路,具有一定的借鉴意义。
关键词
光刻胶
电路板
成膜
树脂
紫外固化
甲基丙烯酸甲酯
Keywords
Photoresist
PCB
Matrix Resin
UV Curing
MMA
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
成膜树脂对重氮萘醌体系正性光致抗蚀材料性能的影响
被引量:
4
16
作者
薛永薰
邬兰
王鹏
机构
天津天龙科技公司
出处
《感光科学与光化学》
CSCD
2000年第1期85-94,共10页
关键词
感光材料
成膜
树脂
重搂萘醌体系
抗蚀材料
分类号
TN305.704 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
阳图PS版感光胶的成膜树脂技术(下)
被引量:
4
17
作者
余尚先
顾江楠
童晓
机构
北京师范大学应用化学研究所
出处
《印刷杂志》
1998年第10期37-39,共3页
文摘
三、几类成膜树脂的具体讨论 1.酚类与醛类线性缩合型 这一大类型又包括二种: (1)间甲酚—甲醛树脂,如式(1)所示,因催化剂不同分为一般草酸催化型n/m≥4,和高邻位缩聚型,如Zn(AC)_2催化型n/m≤1。如通式(1)所示:
关键词
阳图PS版
感光胶
成膜
树脂
分类号
TS802.6 [轻工技术与工程]
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职称材料
题名
阴图感光PS版进展(上)
被引量:
3
18
作者
邝良菊
邹应全
机构
北京师范大学化工学院
出处
《信息记录材料》
2007年第5期39-42,共4页
文摘
本文主要介绍了阴图PS版的2种重要组成部分:感光树脂和成膜树脂,同时简要说明了紫激光CTP的最新发展情况。关于感光树脂,主要介绍了其发展历史和感光机理,并重点阐述了重氮树脂的特点和合成方法;成膜树脂,主要介绍了聚乙烯醇缩醛,聚氨基甲酸酯,聚(甲基)丙烯酸(酯)及其衍生物。
关键词
阴图PS版
UV—CTP
感光
树脂
重氮
树脂
成膜
树脂
分类号
TS802.6 [轻工技术与工程]
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职称材料
题名
248nm光致抗蚀剂成膜树脂研究进展
被引量:
4
19
作者
晏凯
邹应全
机构
北京师范大学化学学院
出处
《信息记录材料》
2008年第2期37-43,共7页
基金
北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室开放基金(KF060101)
文摘
光致抗蚀剂(photoresist)是制造超大规模集成电路的关键性材料之一,随着集成电路集成度的不断增加,光致抗蚀剂由g线(436nm)胶、i线(365nm)胶,逐渐发展到深紫外(DUV)(248nmKrF与193 nm ArF)胶。成膜树脂作为光致抗蚀剂的主要成分之一,决定了抗蚀剂的主要性能,因此研究成膜树脂具有重要的意义。本文综述了248 nm KrF光致抗蚀剂成膜树脂的研究进展,重点介绍了聚对羟基苯乙烯及其衍生物,并简要介绍了其合成方法及成像机理。
关键词
248nm光致抗蚀剂
化学增幅
成膜
树脂
聚对羟基苯乙烯
非化学增幅
Keywords
248 nm photoresist
chemically amplified
matrix resins
poly (p-hydroxystyrene)
non-Chemically Amplified
分类号
TS802.3 [轻工技术与工程]
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职称材料
题名
改性氨基丙烯酸乳胶漆的研制
被引量:
4
20
作者
李江年
王德智
张梅
唐林生
机构
日照金马化工有限公司
青岛科技大学化工学院
出处
《涂料工业》
CAS
CSCD
2003年第6期3-6,共4页
文摘
以羟基丙烯酸水溶胶改性羟基丙烯酸乳液为成膜树脂 ,完全和部分甲醚化的三聚氰胺甲醛树脂为固化剂 ,配制高温 ( 15 0~ 15 5℃ )烘烤和中温 ( 12 5~ 13 0℃ )烘烤 2种氨基丙烯酸乳胶漆。当固化剂为成膜树脂的 8%~10 % ,颜基比 (质量比 )为 0 2 9∶1 0 0时 ,漆膜附着力均达到 1级 ;耐冲击性为 5 0cm ;硬度 >2H ,45°光泽约为 70 % ;耐温水 ( 5 0~ 5 3℃ ) 10h以上 ,遮盖力和施工性能良好。该类烘烤漆可用于对光泽要求不高的场合 ,如金属卷材。
关键词
改性氨基丙烯酸乳胶漆
羟基丙烯酸水溶胶
改性
羟基丙烯酸乳液
成膜
树脂
分类号
TU561.61 [建筑科学—建筑技术科学]
TQ633 [化学工程—精细化工]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
自交联水溶性丙烯酸树脂及柔性版四色套印水性油墨的研究
汤建新
陈洪
聂立波
何农跃
《东南大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
16
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职称材料
2
电磁屏蔽铜系复合导电涂料实验研究
施冬梅
杜仕国
田春雷
邓辉
《军械工程学院学报》
2001
10
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职称材料
3
纸品上光油研究进展
郭效杰
杨辉荣
《广东化工》
CAS
2002
7
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职称材料
4
阳图PS版感光胶的成膜树脂技术(上)
余尚先
顾江楠
童晓
《印刷杂志》
1998
9
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职称材料
5
光刻胶成膜树脂的研究进展
冯波
艾照全
朱超
宋梦瑶
《粘接》
CAS
2015
9
下载PDF
职称材料
6
一种248nm光刻胶成膜树脂的合成及相关性能研究
刘建国
蒋明
曾晓雁
《影像科学与光化学》
CAS
CSCD
北大核心
2013
8
下载PDF
职称材料
7
我国光刻胶的市场现状及发展趋势
郑金红
《精细与专用化学品》
CAS
2009
7
原文传递
8
吸水性对防污涂料性能影响的研究
张霁
王健
Erik Risberg
Harald Boen
《中国涂料》
CAS
2013
6
下载PDF
职称材料
9
甲基丙烯酸酯类光刻胶成膜树脂的合成与性能研究
何姣
郭文迅
彭荡
贺倩
《应用化工》
CAS
CSCD
2011
6
下载PDF
职称材料
10
水包水多彩涂料的研究进展
李国梁
叶仙华
乔永洛
申亮
《江西科技师范大学学报》
2014
6
下载PDF
职称材料
11
船舶防污涂料的研究现状及展望
陆刚
余红伟
晏欣
魏徵
《弹性体》
CAS
2016
5
下载PDF
职称材料
12
阴图感光PS版进展(下)
邝良菊
邹应全
《信息记录材料》
2007
4
下载PDF
职称材料
13
光刻胶及其成膜树脂的研究现状
王全勇
宋斌
麦裕良
《广东化工》
CAS
2020
5
下载PDF
职称材料
14
化学增幅型光刻胶材料研究进展
郑祥飞
孙小侠
刘敬成
穆启道
刘仁
刘晓亚
《影像科学与光化学》
CAS
2020
5
下载PDF
职称材料
15
光致抗蚀剂的制备及其性能研究
周虎
李宁
蒋敏
罗小阳
唐甲林
秦先志
《印制电路信息》
2015
5
下载PDF
职称材料
16
成膜树脂对重氮萘醌体系正性光致抗蚀材料性能的影响
薛永薰
邬兰
王鹏
《感光科学与光化学》
CSCD
2000
4
下载PDF
职称材料
17
阳图PS版感光胶的成膜树脂技术(下)
余尚先
顾江楠
童晓
《印刷杂志》
1998
4
下载PDF
职称材料
18
阴图感光PS版进展(上)
邝良菊
邹应全
《信息记录材料》
2007
3
下载PDF
职称材料
19
248nm光致抗蚀剂成膜树脂研究进展
晏凯
邹应全
《信息记录材料》
2008
4
下载PDF
职称材料
20
改性氨基丙烯酸乳胶漆的研制
李江年
王德智
张梅
唐林生
《涂料工业》
CAS
CSCD
2003
4
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职称材料
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