静电电容式压力传感器组件
出处
《光机电信息》
1995年第4期42-42,共1页
OME Information
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2杨梅,于炜,张莹,史煜.梁-膜结构微压传感器研制[J].实验流体力学,2010,24(2):74-76. 被引量:3
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3徐霞,余成波.力学加载实验的微小压力测量控制的装置研究[J].压电与声光,2005,27(4):389-391.
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4马以武,常慧敏,宋箭,王英先,虞承端.厚膜微压力传感器的研究[J].仪表技术与传感器,1999(6):11-14. 被引量:12
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