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薄膜应力分析中的应力梯度的影响被引量：1

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作者于利根白辰东

出处《薄膜科学与技术》 1993年第3期173-178,共6页

关键词薄膜应力分析应力梯度

分类号 O484.5 [理学—固体物理]

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同被引文献6

1于利根.择优取向材料弹性参量计算及薄膜应力测定：博士学位论文[M].西安:西安交通大学,1995.. 被引量：1
2张铭，自然科学进展，2001年，11卷，2期，169页被引量：1
3于利根，博士学位论文，1995年被引量：1
4于力根，薄膜科学与技术，1993年，6卷，3期，173页被引量：1
5于利根,何家文,B.C.Hendrix.择优取向对X射线应力测试的影响[J].金属学报,1998,34(6):667-672. 被引量：5
6张铭,何家文.具有丝织构TiN薄膜弹性常数的计算[J].自然科学进展（国家重点实验室通讯）,2001,11(2):168-172. 被引量：1

引证文献1

1张铭,郑茂盛,何家文.用几何平均模型计算多晶材料的X射线弹性常数[J].材料研究学报,2001,15(5):577-582.

1王华清,薛唯,卢维强,李夏,张楠.基于哈特曼原理的薄膜应力在线测量系统[J].红外与激光工程,2009,38(1):120-125. 被引量：1

薄膜科学与技术

1993年第3期

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