δ掺杂技术及其应用

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摘要给出了δ掺杂的半导体定义,论述了这种掺杂的特点、方法、材料的能带结构及影响δ掺杂分布宽度的因素,同时介绍了在此技术基础上改进或发展地一些新颖半导体器件.

作者宋登元

机构地区河北大学电子与信息工程系

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1993年第5期56-60,共5页 Semiconductor Technology

关键词 Δ掺杂半导体器件制造

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半导体技术

1993年第5期

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