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基于SEM-EDS的清洁度检测技术研究

Research on Detection Technology of Cleanliness Based on SEM-EDS
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摘要 清洁度是影响产品质量的重要指标之一,为了对影响清洁度的杂质颗粒进行分级统计、成分分析以保证其可溯源性,研究了基于扫描电子显微镜和能量色散谱仪(SEM-EDS)的清洁度检测技术,结合试验对检测过程和参数选择进行优化,并对结果进行了分析。 Cleanliness is one of the important indicators affecting the quality of products,in order to classify and analyze the impurity particles determining cleanliness,the cleanliness testing technology based on SEM-EDS was presented.Combined with the experiment,the detection process and parameters were optimized,and the experiment results were analyzed.
作者 余成龙 王树平 王春花 陈耀东 YU Chenglong;WANG Shuping;WANG Chunhua;CHEN Yaodong(FAW Wuxi Fuel Injection Equipment Research Institute,Wuxi 214063,China)
出处 《现代车用动力》 2019年第2期47-50,共4页 Modern Vehicle Power
关键词 清洁度 检测 扫描电子显微镜 能量色散谱仪 杂质 cleanliness testing SEM EDS impurity
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