低能离子束沉积类金刚石膜的可见光学性能研究及其应用
出处
《四川真空》
1992年第1期54-61,23,共9页
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1林锡刚,雍志华,刘玮,邓明.低能离子束沉积类金刚石膜的结构及性能研究[J].功能材料,1997,28(1):84-88. 被引量：7
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2宋书林,陈诺夫,周剑平,尹志岗,李艳丽,杨少延,刘志凯.低能离子束沉积制备GaAs:Gd的研究[J].Journal of Semiconductors,2004,25(12):1658-1661.
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3吴瑜光,张通和,张荟星,张孝吉,王广甫.磁过滤阴极真空弧沉积薄膜研究[J].微细加工技术,2001(1):45-49. 被引量：15
