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先进的离子束技术和材料改性 被引量:1

Application of ion beam technology in material modification
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摘要 介绍了离子束形成。 The formation and industrial application of ion beam was introduced. Great significance of ion beam technology in national economy and national defense was described.
作者 张通和
出处 《物理实验》 北大核心 2001年第4期3-7,10,共6页 Physics Experimentation
关键词 物理学实验 材料改性 离子束辅助沉积技术 离子掺杂 离子注入 级联碰撞 离子浓度分布 ion beam modification of materials industrial application
  • 相关文献

参考文献5

  • 1Rine BC. Solid State Technology, 1989,28(5): 129 被引量:1
  • 2Vlacia JI et al. Solid State Technology, 1990, 29(5): 107 被引量:1
  • 3张通和,吴瑜光著..离子束材料改性科学和应用[M].北京:科学出版社,1999:550.
  • 4Hartley NEW. Radiation Effects, 1979,44(4):19 被引量:1
  • 5Dearnaley G. Ion Implatation Metallurgy. ed by Preece CC and Hirvonen JK. AIME Pub. ,1980 被引量:1

同被引文献27

引证文献1

二级引证文献8

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