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二氧化钒薄膜制备工艺的研究进展 被引量:3

Reasearch Progress in Preparation Process of Vanadium Dioxide Thin Films
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摘要 阐述了二氧化钒的基本特性及应用。对几种二氧化钒薄膜制备工艺做了叙述,强调了掺杂和退火处理对薄膜相变温度和特性的影响。 The basic characteristics and application of vanadium dioxide were described.Several preparation processes for vanadium dioxide thin film were briefly described.The effects of doping and annealing on the phase transition temperature and characteristics of the thin film were emphasized.
作者 张立生 李慧 张汉鑫 梁精龙 ZHANG Lisheng;LI Hui;ZHANG Hanxin;LIANG Jinglong(Key Laboratory of Ministry of Education for Modern Metallurgy Technology,College of Metallurgy and Energy,North China University of Science and Technology,Tangshan 063210,China)
出处 《热加工工艺》 北大核心 2019年第6期41-44,共4页 Hot Working Technology
基金 国家自然科学基金项目(51674120) 河北省自然科学基金项目(E2016209163) 河北省高等学校科学技术研究项目(BJ2017050)
关键词 二氧化钒 工艺 相变 特性 vanadium dioxide process phase transition characteristic
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参考文献19

二级参考文献267

共引文献138

同被引文献15

引证文献3

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