摘要
采用由金属蒸汽真空弧(Metal Vapor Vacuum Arc 简称MEVVA)离子源引出的强束流脉冲钛离子对铁进行了离子注入表面改性研究。注入剂量为3×1017 cm-2,引出电压为48 kV,平均束流密度为47 A穋m-2。根据试验测得的离子注入层的卢瑟福背散射谱(Rutherford backscattering spectrum ),充分利用铁钛表面谱的能量间隔来计算可分离部分的铁、钛浓度深度分布,进而在一定的近似下,推出背散射谱不可直接分离部分的Ti、Fe的谱高度,最后采用迭代法把背散射谱转换成钛的浓度深度分布曲线,结果表明此转换方法是合理的且能说明钛离子注入的一些改性机理。此方法亦适用于样品中任意两种质量数相近的元素的卢瑟福背散射谱的分离以及浓度深度分布的转换。
Titanium ions extracted from a metal vapor vacuum arc ion source were implanted into iron, with an implantation dose of 3?017 cm-2, extraction acceleration 48 kV, and average ion beam flux about 47 礎穋m-2. According to Rutherford backscattering spectrum (RBS) from Ti-implanted iron and energy interval between surface spectrum of titanium and iron, it can be calculated their concentration depth profile. The spectrum height from titanium can be obtained with an approximate method. Finally, the backscattering spectrum can be converted to the concentration depth profile of titanium.
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
2003年第4期39-42,共4页
China Surface Engineering
基金
国家自然科学基金(59671051)
江苏省教育厅自然科学基金(02KJD490001)部分资助
关键词
背散射
离子注入
浓度
RBS
ion implantation
concentration
