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薄膜中异常晶粒生长理论及能量各向异性分析 被引量:16

Theory of abnormal grain growth in thin films and analysis of energy anisotropy
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摘要 针对柱状晶薄膜 ,建立了异常晶粒生长理论模型 .指出薄膜中的晶粒生长 ,除像传统的整体材料中的晶粒生长一样考虑晶界能外 ,还应当考虑表面能、界面能和应变能 .对能量的各向异性进行了回顾性分析 .从表面能的最小化考虑 ,面心立方和体心立方薄膜的择优取向或织构应分别为 ( 111)和 ( 110 ) ;而从应变能的最小化考虑 ,面心立方和体心立方薄膜的择优取向或织构应分别为 ( 110 )和 ( 10 0 ) A theoretical model is proposed for the abnormal grain growth in thin films of columnar grains. In addition to the grain boundary energy usually considered for the grain growth in bulk materials, the influences of surface energy, interface energy and strain energy are also considered in the model. A reviewed analysis is given out for the anisotropy of energy. For fcc- and bcc-metal films, surface energy minimization generally favours ( 111) and ( 110) textures, while strain energy minimization generally favours (110) and (100) textures.
出处 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期1207-1212,共6页 Acta Physica Sinica
基金 国家自然科学基金 (批准号 :5 0 2 710 38 5 99310 10 )资助的课题~~
关键词 异常晶粒生长 柱状晶薄膜 能量 各向异性 织构 模型 表面能 界面能 应变能 微结构 thin films abnormal grain growth model texture
  • 相关文献

参考文献42

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同被引文献87

引证文献16

二级引证文献58

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