基于闭环加速度检测系统的MEMS加速度传感器模型被引量：1

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摘要本文针对体硅梳齿结构的电容式加速度传感器进行建模,考虑到了极板间静电力影响,对闭环反馈式加速度检测系统的设计及调节提供了可能及便利;基于VerilogA对该模型进行描述,使其能够和主流的IC电路设计工具进行兼容,对于系统功能搭建及性能的调节具有直接性,便利性。根据仿真结果表明,该模型如实反映了MEMS电容式加速度计的工作状态,尤其对闭环加速度计检测系统的设计提供有效的帮助。

作者黄廷昭童成盛万培元林平分

机构地区北京工业大学北京市嵌入式系统重点实验室

出处《科技信息》 2014年第11期70-72,共3页 Science & Technology Information

关键词 MEMS加速度计 VerilogA 静电力闭环反馈

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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参考文献1

1赵楷,熊斌,车录锋.基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型[J].传感技术学报,2008,21(6):942-945. 被引量：5

二级参考文献7

1董林玺,孙玲玲,车录锋,王跃林.梳齿的不平行对电容式微机械传感器阶跃信号响应的影响[J].传感技术学报,2005,18(3):525-530. 被引量：5
2Kulah H. Closed-Loop Electromechanical Sigma-Delta Microgravity Accelerometers[D]. Ph.D. Dissertation, University of Michigan, 2003. 被引量：1
3Kraft M. Closed Loop Accelerometer Employing Oversampling Conversion[D]. Ph.D. Dissertation, Coventry University, 1997. 被引量：1
4Veijola T. Accelerometer Model in APLAC[R]. Tech. Rep. CT-18, Helsinki University of Technology, Circuit Theory Laboratory, Feb. 1994. 被引量：1
5FitzPatrick D, Miller I. Analog Behavioral Modelling With the Verilog-A Language[M]. Kluwer Academic Publishers, 2003. 被引量：1
6Kundert K. Modeling Varactors[-R]. The Designer's Guide Community, www. designers-guide. org, 2006. 被引量：1
7徐玮鹤,车录锋,李玉芳,熊斌,王跃林.一种硅四层键合的高对称电容式加速度传感器[J].Journal of Semiconductors,2007,28(10):1620-1624. 被引量：6

共引文献4

1但泽杨,贺知明.锁相环行为级建模及在视频行锁相中的应用[J].现代电子技术,2009,32(16):4-7. 被引量：1
2张灵霖,车录锋,李玉芳,王跃林.基于阶跃响应的加速度计Q值测试方法研究[J].传感技术学报,2009,22(10):1417-1421. 被引量：2
3李波,张宾.单轴微加速度器机电耦合分析[J].内蒙古煤炭经济,2016(13):118-119.
4韦彩色,王新尧,陈纪磊,陶江.基于SysML与Simulink的机载传感器建模方法[J].计算机仿真,2021,38(10):94-100.

同被引文献11

1吴学忠,肖定邦,李圣怡.电容式微加速度计的闭环检测技术研究[J].传感技术学报,2006,19(4):1097-1099. 被引量：11
2董景新,赵常德，曹志锦，等．微惯性仪表[M]．北京：清华大学出版社，2003．167—168．被引量：6
3Kempi, Volker. Inertial MEMS: Principles and Practices [ M ].Cambridge University Press,2011 : 131 - 156. 被引量：1
4Wu Jicingfeng. Sensing and Control Electronics for Low-Mass Low-Capacitance MEMS Accelerometers [ D ]. Department of Electricaland Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Spring2002:26-30,55-59. 被引量：1
5Mikail Yiiceta§,Mika Pulkkinen,Antti Kalanti,et al. A High-Res-olution Accelerometer With Electrostatic Damping and ImprovedSupply Sensitivity [ J]. IEEE Journal of Solid-State Circuits,2012,47(7) :1721-1730. 被引量：1
6Lung ,Tiflcrt K_ A Low Noise A<*celeroineter with Digital PID-Tvpr Ginm’lld ami Mulliltti Kon <* Fet-dbai-k[ C]//IEEE Interna-lioiuil Solid-Slate Circuits Confcrrnoef ISS() ,1999:250-253. 被引量：1
7Ye Zhemhua, Vang Haigang, Liu Kei, et al. Electro Mechanical.s?hI- witli Migh- Capaitive Micro-Accelerometers andI>ulse Wi<llh Modulation Force FeedljiU'k[ C]//Proceedings of thePrime Asia, 2011, Macao, 2011 :49-52. 被引量：1
8林伟俊,胡世昌,郑旭东,王昊,金仲和.电容式加速度计的数字化处理电路及其与模拟电路的比较[J].传感技术学报,2009,22(11):1562-1567. 被引量：5
9张霞,胡世昌,朱辉杰.差分电容电压转换电路噪声性能分析及测试[J].传感技术学报,2011,24(9):1301-1304. 被引量：7
10周智君,石云波,唐军,丁宇凯.一种大量程加速度传感器的性能测试[J].传感技术学报,2013,26(6):834-837. 被引量：11

引证文献1

1王猛,肖鹏,徐林鹏,王玉朝,滕霖.差分电容硅微加速度计检测电路研究[J].传感技术学报,2015,28(3):347-351. 被引量：4

二级引证文献4

1袁明权,唐彬,孙远程,熊壮,彭勃.基于无掩模腐蚀技术的高性能微加速度传感器[J].传感器与微系统,2016,35(3):53-55. 被引量：1
2江东,单薏,刘绪坤,杨嘉祥,王德玉.基于Z-力敏元件的测力研究[J].传感技术学报,2016,29(2):182-187. 被引量：1
3乔爱民,何博侠,黄迎辉,王艳春.应变式传感器的信号隔离及数据重构[J].传感技术学报,2017,30(7):1062-1069. 被引量：1
4李凯,罗怡,王晓东,孙屹博.胶层热传递对挠性摆式微加速度计温度滞环的影响[J].传感技术学报,2018,31(7):981-986. 被引量：3

1高天星,赵旭强,马忠梅.基于CC3200的Wi-Fi无线组网式跌倒检测系统[J].单片机与嵌入式系统应用,2016,16(1):41-44. 被引量：2
2王士鹏,陆宇平,吉顺平.一种网络控制系统的组建及模糊PID算法仿真[J].仪表技术与传感器,2008(7):30-31. 被引量：1
3第20届日本微机械/MEMS展召开,三菱电机推出新型MEMS加速度产品[J].传感器世界,2009,15(8):45-45.
4陈建新,王荣,章韵.MEMS加速度传感器的距离测量性能分析[J].电脑与电信,2011(11):30-32. 被引量：7
5J.M. Zamanillo P.L. Lopez-Espi Isabel Zamanillo Raquel Torres Jose Campelo Angel Mediavilla C. Perez-Vega.Verilog-A模型为微波商用仿真器增添新动力（二）[J].国外电子测量技术,2009,28(8):5-8.
6陈建新,卜翔,王荣,刘杰,章韵,金仙力.基于MEMS加速度的三维无线鼠标设计与实现[J].无线互联科技,2011,8(8):22-25. 被引量：11
7李燕,张国兴,王玲,刘军.微电容式加速度计的闭环控制技术研究[J].组合机床与自动化加工技术,2009(6):61-62.
8李燕,王玲,李洲,刘军.硅微电容式加速度计的闭环控制技术研究[J].机械与电子,2009,27(5):31-32.
9陈伟平,陈晓亮,郭玉刚,刘晓为.一种电容式闭环微加速度计系统研究[J].中北大学学报（自然科学版）,2011,32(4):502-506.
10博世发布采用2mm×2mm封装的3轴加速度传感器[J].工业设计,2010(2):17-17.

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