摘要
为探究衍射光栅铝膜基底效应对纳米压痕过程的影响,基于ABAQUS有限元分析软件,采用对比分析的方法,建立有基底铝膜和无基底铝膜模型,模拟纳米压痕的压入过程。结果表明,当出现基底效应后,有基底铝膜的回弹量比无基底铝膜小,隆起高度先比无基底铝膜小,之后大,载荷比无基底铝膜大,且基底效应逐渐变大。通过分析铝膜中基底效应对纳米压痕过程的影响,为衍射光栅铝膜力学性能研究提供了重要参考。
出处
《制造业自动化》
CSCD
2017年第8期77-80,共4页
Manufacturing Automation
基金
国家自然科学基金青年基金项目(51405031)
国家自然科学基金面上项目(51575057)
吉林省自然科学基金项目(20150101023JC)
吉林省教育厅"十三五"科学技术研究项目(KYC-JC-XM-2016-030)
