物理气相沉积薄膜附着性的影响因素
The Effecting Factors of Adhesion on Physical Vapor Deposition Thin Films
摘要
综述了关于薄膜附着性能的研究进展 ,总结了影响附着性的主要因素 。
出处
《新技术新工艺》
北大核心
2003年第2期42-45,共4页
New Technology & New Process
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