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用于复杂曲面检验校准的CGH关键技术 被引量:4

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摘要 复杂曲面光学零件在军事领域具有重要的应用,其面形检测技术逐渐成为制约光学曲面精度的关键因素。本文首先从复杂曲面光学零件的需求出发,分析了计算全息图(CGH)法相比于其他检测方法的优势和适用性;然后,对CGH的相位面设计、微结构制造及误差评价三个方面的相关研究成果进行了综述;最后,以自由曲面反射镜为例,利用CGH样品对待测镜完成了精确的面形检验校准工作,并对CGH的制造误差进行了评价。
出处 《中国计量》 2019年第6期80-85,共6页 China Metrology
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