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直线电动机在半导体设备上的应用

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摘要在电子产品的快速淘汰、更新,生命周期短暂的市场形态下,半导体制造设备必须快速大量产出、快速更换制造模组及元件,才能不断地快速推出新产品,以满足市场需求。

作者黄东雍

机构地区大银微系统股份有限公司

出处《现代制造》 2003年第1期74-75,共2页 Maschinen Markt

关键词直线电动机半导体设备电子产品

分类号 TN305 [电子电信—物理电子学] TM359.4 [电气工程—电机]

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现代制造

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