摘要
本项目聚焦的科学问题主要来源于以下两方面需求:基于单晶硅球X射线荧光分析(XRF)方法进行阿伏伽德罗常数(Avogadro's number)测量时,如何精确评价高纯度单晶硅棒形基体材料提纯等级和材料均相性;半导体行业关键硅基功能性材料提纯及制备工艺中,精密调控关键参数的选择及其测量方法.
出处
《中国科技成果》
2024年第22期7-9,共3页
China Science and Technology Achievements
基金
中国计量科学研究院基本科研业务费重点领域课题(AKYZD2309)。
