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IGZO薄膜晶体管专利技术现状

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摘要 IGZO薄膜晶体管凭借较高的迁移率,较好的均一性、透明度和较低的制作温度、工艺难度,在液晶显示和有机发光二极管领域受到广泛关注。本文从专利申请的角度对IGZO薄膜晶体管的发展进行分析,介绍了IGZO薄膜晶体管技术的国内外专利申请情况、主要技术分布和重要申请人分布等内容,并对IGZO薄膜晶体管的发展技术路线进行梳理,有利于IGZO薄膜晶体管技术发展动向的研究。
作者 赖淑妹
出处 《中国科技信息》 2024年第22期11-13,共3页 China Science and Technology Information
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