摘要
洁净物流系统是一个高度专业化的物流自动化细分领域,特别是半导体行业使用的自动化物料搬运系统(AMHS),有较高的技术门槛。AMHS系统中最核心的设备包括用于在生产线上移动物料的天车系统(OHT)、AGV/AMR等自动搬运设备,以及Stocker等存储设备,由MCS、LCS等软件协同运作。AMHS作为FAB工厂内部的物流大动脉,对于提升半导体产线的产能、良率等核心生产指标至关重要。AMHS不仅应用在半导体材料、晶圆制造与封装测试等环节,也可以在液晶显示、新能源等行业发挥价值,随着智能制造的不断深入,AMHS将得到更广泛的应用。
出处
《物流技术与应用》
2024年第5期84-85,共2页
Logistics & Material Handling
