摘要
介绍了一种应用高分辨率工业相机及图像处理技术改造传统的平面等厚干涉仪,在保留平面等厚干涉仪原有光路系统且确保其能输出准确的干涉条纹的前提下,仅对读数部分和数据处理部分进行改造,利用图像处理软件对图像进行自动识别和数据处理,实现平晶干涉条纹图象自动采集处理、平晶检定数据自动化存储处理,并对装置的测量不确定度进行评定。
作者
颜蓉
张改革
胡志刚
YAN Rong;ZHANG Gai-ge;HU Zhi-gang
出处
《精密制造与自动化》
2022年第4期27-29,64,共4页
Precise Manufacturing & Automation
