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贵金属钌的制备、性能及应用研究进展 被引量:3

Research Progress on Preparation,Properties and Application ofPrecious Metal Ruthenium
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摘要 贵金属钌在现代工业中具有广泛的应用。本文首先介绍了钌块体的制备方法,对钌块体的塑性、机加工性能及其影响因素进行了分析,介绍了X衍射测定钌块体内应力的方法;其次,综述了钌薄膜的制备方法,介绍了钌薄膜在集成电路中作为铜的粘结层/扩散阻挡层、磁记录媒介中作为中间层/籽晶层、抗氧化保护层材料及电接触材料等方面的应用;最后,总结了目前钌研究的不足之处,并对其未来发展进行了展望。 Ruthenium(Ru),precious metal,is widely used in modern industry.In present paper,the preparation methods of Ru bulk materials are introduced firstly.Moreover,the plasticity,machinability,and influence factors are analyzed.The X-ray diffraction used to measure the internal stress is presented.Secondly,the preparation methods of Ru thin films are reviewed.We also present the application of Ru films such as the bonding layer/diffusion barrier layer for copper in integrated circuits,the intermediate layer/seed layer in magnetic recording media,anti-oxidation protective layer materials and electrical contact materials,etc.In the end,the present research shortcomings of Ru are summarized and a vision of its future research trends is made.
作者 张仁耀 郭俊梅 闻明 管伟明 ZHANG Renyao;GUO Junmei;WEN Ming;GUAN Weiming(State Key Laboratory of Advanced Technologies for Comprehensive Utilization of Platinum Metals,Kunming Institute of Precious Metals,Kunming 650106,China)
出处 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第21期21243-21248,共6页 Materials Reports
基金 国家重点研发计划项目(2017YFB0305503) 云南省国际合作计划项目(2014IA037) 云南省院所专项项目(2009CF003) 云南省创新团队项目(2019HC024)。
关键词 制备方法 钌薄膜 工业应用 ruthenium preparation method ruthenium thin films industrial application
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参考文献15

二级参考文献125

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同被引文献27

引证文献3

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