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上海光机所在激光抛光熔石英元件方面取得新进展
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摘要
近期,中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心研究团队结合化学深刻蚀和激光抛光对精磨后的熔石英玻璃进行加工,获得了具有超光滑表面和高激光损伤阈值的熔石英元件。相关研究成果发表于Optics Letters。
出处
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第1期116-116,共1页
Lubrication Engineering
关键词
激光抛光
上海光机所
激光损伤阈值
检测中心
深刻蚀
精密光学
中国科学院
熔石英玻璃
分类号
TQ171.731 [化学工程—玻璃工业]
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润滑与密封
2021年 第1期
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