高精度电感测头的回程、径向误差检定夹具

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摘要对于低精度电感比较仪误差的检定,典型的方法有立柱法、微动台架法和外力法、块规法。这些方法会引入大于0.05μm的误差,故在检定高精度电感比较仪时,为降低测量误差,笔者制作了一种回零准确度可达0.02μm的三坐标检具。一、装置原理三坐标检具由两组双片簧垂直配置而成,利用片簧的变形分别实现X轴方向和Y轴方向的位移,如图1所示。当测头装卡在Z轴方向时.

作者董志欣

机构地区河南省鹤壁市质量技术监督检验测试中心

出处《中国计量》 2020年第7期117-118,共2页 China Metrology

关键词比较仪三坐标测头微动台检具误差检定片簧测量误差

分类号 TH822 [机械工程—仪器科学与技术]

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