用于挥发性气体检测的声表面波器件的环境特性研究

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摘要声表面波在气敏应用中具有快速、高灵敏、微型、轻质的独特优势,因而在单兵防化、公共安全及工业流程监控等领域极具应用前景。中国科学院声学研究所王文团队与军事科学院防化研究院潘勇团队在长期声表面波气敏机理与器件优化研究的基础上,为推进声表面波气敏技术的实用化进程,持续开展了声表面波气敏器件及系统环境适应性的研究。

作者王文

机构地区中国科学院声学研究所

出处《应用声学》 CSCD 北大核心 2020年第4期557-557,共1页 Journal of Applied Acoustics

关键词声表面波气敏器件挥发性气体流程监控环境特性公共安全实用化进程气敏机理

分类号 TN65 [电子电信—电路与系统]

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