TFT器件过孔腐蚀机理研究及改善

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摘要通过原电池反应模型模拟,研究了TFT器件过孔腐蚀的机理。从材料的选择、过孔的形貌、金属间界面及表面防护四个方面,提出了提升过孔抗腐蚀能力的方向和详细措施。减少金属间的电势差和去除界面电解质溶液残留,是提升TFT器件过孔抗腐蚀能力的主要方向。

作者董康旭孟盼盼陈甫邢宝宝

机构地区合肥京东方光电科技有限公司

出处《中国金属通报》 2019年第12期246-250,共5页 China Metal Bulletin

关键词过孔腐蚀 TFT器件原电池腐蚀反应模型电势差

分类号 TP394.1 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]

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