摘要
文中对现场真空校准装置进行设计与性能研究。在实际装置设计与性能研究的过程中,首先将现场真空校准装置的校准范围控制在10^-5~105 Pa,其次在确定现场真空校准装置的校准范围后,应当将真空气体注入到需要校准装置的上部。最后通过微米级大小的小型激光孔径建立一个PSTD校准压力标准。真空校准装置上游室压力的变化在1~103 Pa,校准室的标准压力范围在10^-5~10^-2 Pa(N2),不确定性程度为2.4%。通过现场真空校准装置可直接在不同地点进行动态或静态校准。与标准真空计数器进行比较,现场真空校准装置的最大真空量为10^-6 Pa。
出处
《今日自动化》
2019年第6期145-146,共2页
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