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光楔加工检测及测量误差分析 被引量:2

Testing of a wedge and analsis of errors
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摘要 提出了用于光楔加工中楔角检测的一种新型装置及测角系统。结合锗晶体元件的光学特性 ,在综合分析各种测角装置的结构特点后 ,形成了此装置及系统。实际使用中该装置测角性能良好。对测量中可能产生的误差进行了较详细的分析。经过对标准楔块的检测 ,可满足实际使用要求。该装置的特点 :采用多个微动机构 ,在微机控制的细分驱动方式下 ,利用搜索逼近的方法完成对楔角的测量。该装置除用于红外光楔的锗晶体测量之外 。 An improved device and testing system for the precision test of a germanium wedge, which have unique characters, are constructed. Using micro displacement mechanisms and divided drive manner under the control of a computer by means of search skills, the test work is done with great facility. The analysis of errors is presented in detail. It is proved to be efficient and practical that the system can meet the test requirements after finishing the tests on well calibrated standard germanium wedge. The system and attached device can also be available for other uses, such as optical components and graduation of angles.
出处 《光学技术》 CAS CSCD 2002年第6期570-571,共2页 Optical Technique
关键词 测量误差 光楔 微动机构 楔角 测角装置 wedge micro displacement mechanisms measurement
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共引文献6

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引证文献2

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