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MOCVD原位监测系统的设计与实现

Design and Implementation of MOCVD In Situ Monitoring System
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摘要 设计以TSMF32028335和AD7656为核心的数据采集与处理系统,采用以太网芯片W5300实现开发板与上位机的TCP/IP通信.作为监控端的上位机,采用通过Delphi开发的集数据处理、存储、显示与监控于一体的平台,且具有良好的人机交互界面.应用于自主研发的金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)设备,测试结果表明:该设计具有采集数据准确、通信快速稳定、人机界面友好、程序运行流畅的特点,完全符合工程控制要求. A data acquisition and processing system based on TSMF32028335 and AD7656 is designed in this paper,and the TCP/IP communication between the development board and the host computer is completed by using the Ethernet chip W5300.In upper computer,a platform based on Delphi for data processing,storage,display and monitoring is programmed,which has friendly man machine interface.With testing on metal organic chemical vapor deposition(MOCVD)equipment,the results show that this design meets the requirements for engineering control,and the design has the characteristics of accurate data acquisition,fast and stable communication,friendly man machine interface and smooth running of the program.
作者 徐龙权 许冬 刘新卫 方颂 XU Longquan;XU Dong;LIU Xinwei;FANG Song(National Institute for LED on Silicon Substrate,Nanchang University,Nanchang 330047,China;School of Information Engineering,Nanchang University,Nanchang 330031,China)
出处 《华侨大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2018年第2期210-213,共4页 Journal of Huaqiao University(Natural Science)
基金 国家高技术研究发展计划(2012AA041002,2015AA03A102) 江西省重点研发计划(20171ACE50029) 江西省科技厅重大科技专项(20114ABF06102)
关键词 原位监测 TSM320F28335 金属有机化合物化学气相沉积 数据采集 数据处理 人机界面 in siu monitoring TSM320F28335 metal organic chemical vapor deposition data acquisition data processing human-computer interface
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