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测量、分析Φ125mm单晶片氧含量及其分布

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摘要本文讨论了控制单晶中氧含量的重要性，采用与100mm单晶对比的方法，分析125mm单晶中氧含量的横向、纵向分布情况，以及各种工艺条件对它的影响。

作者王华仲仁

机构地区中国华晶电子集团公司硅材料工厂

出处《微电子技术》 1998年第1期40-42,共3页 Microelectronic Technology

关键词单晶片氧含量工艺条件

分类号 TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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微电子技术

1998年第1期

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