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浅谈MEMS技术——(微电子机械系统)

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摘要 MEMS(微电子机械系统)技术为我们带来了具有传感和执行功能的电子器件,它们的价格更为便宜,技术更为成熟。

作者 Mike Dale 魏巍

出处《汽车维修与保养》 2002年第9期49-50,共2页 For Repair & Maintenance

关键词 MEMS技术微电子机械系统汽车传感器

分类号 U463.6 [机械工程—车辆工程]

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汽车维修与保养

2002年第9期

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