光学在精密测量中的应用被引量：5

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摘要在现代工业测量中,传统测量方法已经不能满足需要,因此利用光学原理的非接触式测量开始被广泛应用。本文论述了干涉仪、定量相位成像显微镜、激光三角法以及光谱共焦四种光学精密测量仪器的原理,并进行了对比,提出了改进意见。

作者张泰然

出处《中国设备工程》 2018年第23期84-85,共2页 China Plant Engineering

关键词非接触式测量精密测量干涉仪相位光谱共焦

同被引文献32

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中国设备工程

2018年第23期

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