摘要
近日,美国乔治亚理工大学研制出新的制造技术,可将在蓝宝石衬底上生长的氮化镓（GaN）气体传感器转移到金属或柔性聚合物支撑材料上,大幅降低制造成本,满足从可穿戴设备到车辆引擎的多种应用。使用新工艺制造的传感器能够以十亿分之一的水平检测出氨气,以及区分多种含氮气体。技术核心在该工艺中,研究人员在约1300摄氏度的高温下,使用金属有机气相外延（MOVPE）在2英寸蓝宝石晶圆上生产出单层一氮化硼（BN）。
出处
《半导体信息》
2017年第6期5-6,共2页
Semiconductor Information
