管式镀膜工艺对太阳电池并联电阻的影响

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摘要主要研究不同沉积方式下并联电阻的差异,同时对管式镀膜工艺在不同工艺条件下并联电阻的变化关系进行研究。研究表明,影响并联电阻的主要因素为温度、氮硅比,并联电阻随温度的降低而不断升高,随温度的升高而降低;且其随氮硅比的增加而上升,随氮硅比的减少而下降。

作者张进臣何灿赵江雷李吉严金梅

机构地区晶澳太阳能有限公司

出处《太阳能》 2017年第1期64-66,47,共4页 Solar Energy

关键词 PECVD 介电常数腐蚀速率并联电阻

参考文献2

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