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高真空系统研发进展

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摘要在许多实验室应用中，高真空系统是试验过程必不可少的前提条件。利用新型的、结构紧凑的与可移动使用的即插即用型真空系统就能够简单、高效完成实验室试验分析任务。

作者 Peter Lamhertz

机构地区 Oerlikon Leybold Vacuum公司

出处《实验与分析》 2016年第4期52-53,共2页 LABOR PRAXIS

关键词高真空系统实验室试验研发试验过程即插即用结构紧凑可移动

分类号 TP336 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]

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实验与分析

2016年第4期

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