不同微结构的纤毛式MEMS矢量水听器性能研究

下载PDF

导出

摘要对三种不同梁厚(40μm,20μm,10μm)的微结构进行了模态和静力分析,并制作了相应的水听器进行灵敏度测试,验证了理论分析的正确性。

作者简泽明付昌张国军

机构地区上海船舶电子设备研究所中北大学电子测试技术国防科技重点实验室

出处《声学与电子工程》 2016年第4期38-41,共4页 Acoustics and Electronics Engineering

关键词 MEMS矢量水听器带宽灵敏度

分类号 TB565.1 [交通运输工程—水声工程]

引文网络
相关文献

参考文献2

1杨德森著..矢量水听器原理及应用引论[M].北京:科学出版社,2009:168.
2陈尚..硅微MEMS仿生矢量水声传感器研究[D].中北大学,2008:

1刘源,陈丽红,张国军,赵鹏,申辉,张文栋.流体对MEMS矢量水听器共振频率的影响[J].传感技术学报,2014,27(6):758-762. 被引量：7
2徐伟,张国军,刘源,韩建军,白冰,张文栋.杯型MEMS矢量水听器的设计[J].微纳电子技术,2016,53(6):374-380. 被引量：2
3李振,张国军,薛晨阳.新型三维MEMS矢量水听器的设计[J].传感技术学报,2013,26(7):950-954. 被引量：2
4张开锐,薛晨阳,张国军,关凌纲,王建平.MEMS矢量水听器及其方位估计研究[J].传感器与微系统,2009,28(6):13-15. 被引量：3
5刘梦然,简泽明,张国军,张文栋.MEMS矢量水听器封装的流体-结构相互作用[J].光学精密工程,2015,23(5):1387-1393. 被引量：4
6郭静,张国军,刘源,王续博,张文栋.四元阵型MEMS矢量水听器微结构设计[J].传感技术学报,2016,29(2):171-176. 被引量：1
7薛南,张国军,张慧,王万军,刘宏,李振.T型MEMS矢量水听器外围信号调理电路的设计[J].科学技术与工程,2013,21(18):5127-5131. 被引量：3
8郭静,张国军,王续博,张文栋.MEMS仿生矢量水听器微结构的有限元分析(英文)[J].强激光与粒子束,2015,27(2):136-140. 被引量：6
9许姣,张国军,石归雄,王晓瑶,刘细宝,张文栋.纤毛式矢量水听器新型封装结构的研究[J].传感技术学报,2011,24(4):517-521. 被引量：25
10刘源,王丽娟,赵鹏,申辉,赵龙,张国军.MEMS仿生矢量水听器二次集成的误差分析测试[J].微纳电子技术,2015,52(1):42-48. 被引量：1

声学与电子工程

2016年第4期

浏览历史

内容加载中请稍等...

不同微结构的纤毛式MEMS矢量水听器性能研究

参考文献2

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史