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论电子级氢氟酸的纯化技术及其发展 被引量:1

On Electronic-Grade Hydrofluoric Acid Purification Technology and its Development
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摘要 磷矿石作为氟生产的主要原料,受到国家限制后,对于氟产品有了一定的影响。随着国际经济的快速发展,半导体产业也迅速发展。电子级氢氟酸是半单体的主要化学原料。从电子级氢氟酸纯化技术的现状和未来发展两个方面展开了研究,意在探索纯化技术的发展,以及对于萤石产生战略性保护,为经济和社会创造更大的效益。 After due phosphate rock as the main raw material for the production of fluorine by the national limit for fluoride products have a certain influence.With the rapid development of the international economy,the semiconductor industry has developed rapidly. Electronic grade hydrofluoric acid is the main chemical raw materials and a half monomers.From the current situation of electronic-grade hydrofluoric acid purification technology and the future development of two aspects of the research is intended to explore the development of purification technology,and produce the fluorite strategic conservation to create greater benefits for the economy and society.
出处 《化工设计通讯》 CAS 2016年第5期62-62,69,共2页 Chemical Engineering Design Communications
基金 陈林参加一系列公司超高纯电子化学品的研发 其中"高世代平板显示用铜蚀刻液"项目获2015年国家火炬计划项目 "高世代液晶平板用高纯湿电子化学品的研发与产业化"项目获2015年江苏省科技计划成果转化项目
关键词 电子级氢氟酸 纯化技术 配套技术 electronic grade hydrofluoric acid purification techniques techniques
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参考文献2

二级参考文献8

共引文献23

同被引文献9

引证文献1

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